[实用新型]一种单晶加料装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶加料装置，属于单晶硅技术领域。它包括炉体，其侧面开设有侧加料口；还包括外置加料机，其包括：基座；真空腔室，其滑动置于基座顶面，真空腔室上设有真空泵，内底部设有振动发生器；加料仓，其顶部与底部均开口，置于真空腔室上方，加料仓底部穿过真空腔室顶部的开口并伸入真空腔室中；波纹管，其可伸缩，真空腔室侧壁开口并与波纹管一端连通；加料盒，其一端置于真空腔室内的振动发生器上，进料口连通加料仓底部的开口；加料盒另一端穿过真空腔室侧壁开口并可从波纹管另一端伸出。本实用新型的装置加料效率高，加料过程中炉体内部压力变化波动小，且炉体内热量散失小，具有结构简单、设计合理、易于制造的优点。

技术领域

本实用新型属于单晶硅技术领域，更具体地说，涉及单晶加料装置。

背景技术

单晶炉加料是单晶生产过程中的重要步骤。

在现有的单晶炉生产过程中，由于单晶炉内坩埚容量等技术限制，加料步骤需要分多次完成，即首次向坩埚中加固体硅料至一定量后，需要停止加料，等待单晶炉内化料，化料一定时间后，进行二次加料，再等待一段时间化料后，继续加料，如此重复3~4次方可完成整个加料过程，在等待化料过程中，加料设备是闲置无作用的，这使得现有的加料方法及装置无法充分发挥加料效率，尤其是对于多炉同时生产的情况，每个单晶炉配备加料设备且每台加料设备均有长时间的闲置期，无疑增加了生产成本，浪费了生产资源。

发明内容

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种单晶加料装置，包括，

炉体，其侧面开设有侧加料口；

还包括外置加料机，其包括：

基座；

真空腔室，其滑动置于基座顶面，真空腔室上设有真空泵，真空腔室内底部设有振动发生器；

加料仓，其顶部与底部均开口，置于真空腔室上方，真空腔室顶部开口，加料仓底部穿过真空腔室顶部的开口并伸入真空腔室中；

波纹管，其可伸缩，真空腔室侧壁开口并与波纹管一端连通；

加料盒，其一端为进料端，置于真空腔室内的振动发生器上，进料口连通加料仓底部的开口；加料盒另一端为出料口，其穿过真空腔室侧壁开口并可从波纹管另一端伸出。

进一步地，炉体的侧加料口处设有插板阀，插板阀关闭时封闭侧加料口，插板阀开启时外置加料机进行加料。

进一步地，波纹管另一端端口处设有水冷保护套。

进一步地，外置加料机还包括滑动支架，其包括固定设于基座顶面的滑轨及滑动连接在滑轨上的支架，支架顶部与波纹管底部固定连接。

进一步地，炉体顶部设有顶加料口，还包括加料筒，其包括：

筒体，其外径小于炉体的顶加料口内径；

固定座，其形成于筒体外壁上，固定座呈环形，固定座内壁与筒体外壁固定连接，固定座外径大于顶加料口内径；

石英锥体，其底面朝下活动置于筒体内，石英锥体底面直径与筒体内径向匹配；

拉杆，其置于筒体轴线上，一端与石英锥体顶部固定连接，另一端延伸至筒体顶部外。

进一步地，加料筒还包括导向架，其形成于筒体顶部上方，导向架对应筒体轴线的位置处开设通孔供拉杆穿过。

有益效果

相比于现有技术，本实用新型的有益效果为：

（1）本实用新型的单晶加料装置，外置加料机加料效率高，加料过程中炉体内部压力变化波动小，且炉体内热量散失小；