[实用新型]一种单晶加料装置

权利要求书

1.一种单晶加料装置，其特征在于，包括，

炉体，其侧面开设有侧加料口；

还包括外置加料机，其包括：

基座；

真空腔室，其滑动置于基座顶面，真空腔室上设有真空泵，真空腔室内底部设有振动发生器；

加料仓，其顶部与底部均开口，置于真空腔室上方，真空腔室顶部开口，加料仓底部穿过真空腔室顶部的开口并伸入真空腔室中；

波纹管，其可伸缩，真空腔室侧壁开口并与波纹管一端连通；

加料盒，其一端为进料端，置于真空腔室内的振动发生器上，进料口连通加料仓底部的开口；加料盒另一端为出料口，其穿过真空腔室侧壁开口并可从波纹管另一端伸出。

2.根据权利要求1所述的一种单晶加料装置，其特征在于：炉体的侧加料口处设有插板阀，插板阀关闭时封闭侧加料口，插板阀开启时外置加料机进行加料。

3.根据权利要求2所述的一种单晶加料装置，其特征在于：波纹管另一端端口处设有水冷保护套。

4.根据权利要求3所述的一种单晶加料装置，其特征在于：外置加料机还包括滑动支架，其包括固定设于基座顶面的滑轨及滑动连接在滑轨上的支架，支架顶部与波纹管底部固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种单晶加料装置，其特征在于：炉体顶部设有顶加料口，还包括加料筒，其包括：

筒体，其外径小于炉体的顶加料口内径；

固定座，其形成于筒体外壁上，固定座呈环形，固定座内壁与筒体外壁固定连接，固定座外径大于顶加料口内径；

石英锥体，其底面朝下活动置于筒体内，石英锥体底面直径与筒体内径向匹配；

拉杆，其置于筒体轴线上，一端与石英锥体顶部固定连接，另一端延伸至筒体顶部外。

6.根据权利要求5所述的一种单晶加料装置，其特征在于：加料筒还包括导向架，其形成于筒体顶部上方，导向架对应筒体轴线的位置处开设通孔供拉杆穿过。