[实用新型]一种翻转机构及晶圆甩干机有效
| 申请号： | 202120355024.4 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN214701486U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 欧阳小泉 | 申请（专利权）人： | 泉芯半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B25/02;F26B25/12;F26B25/16;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214187 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种翻转机构及晶圆甩干机，该翻转机构包括装配框架、晶舟盒、驱动杆和翻转驱动装置，装配框架固定于转盘端面上，晶舟盒的外端通过铰接轴能转动地安装于装配框架内，驱动杆与铰接轴之间设置连杆组件，翻转驱动装置设置于转盘的下方，包括驱动气缸和顶杆，配合顶杆于转盘上开设有通孔，驱动气缸驱动顶杆升降，顶杆穿过通孔将驱动杆自低位状态移至高位状态，驱动杆通过连杆组件带动晶舟盒翻转至开口朝上。上述翻转机构及晶圆甩干机不仅结构紧凑、设计巧妙；而且实现了对晶舟盒的自动翻转，便于取放晶舟，节省人力，提高了甩干效率，不会对晶圆造成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 翻转 机构 晶圆甩干机 | ||
【主权项】：
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