[实用新型]一种翻转机构及晶圆甩干机

权利要求书

1.一种翻转机构，其特征在于，其包括，

装配框架，所述装配框架固定于转盘端面上，

晶舟盒，所述晶舟盒的外端通过铰接轴能转动地安装于装配框架内，

驱动杆，所述驱动杆与所述铰接轴之间设置连杆组件，

翻转驱动装置，所述翻转驱动装置设置于转盘的下方，包括驱动气缸和顶杆，配合所述顶杆于所述转盘上开设有通孔，所述驱动气缸驱动顶杆升降，所述顶杆穿过所述通孔将所述驱动杆自低位状态移至高位状态，所述驱动杆通过连杆组件带动所述晶舟盒翻转一定角度，

所述驱动杆处于低位状态时，所述晶舟盒的开口朝内，所述驱动杆处于高位状态时，所述晶舟盒的开口朝上。

2.根据权利要求1所述的翻转机构，其特征在于，所述装配框架设置有偶数个，以转盘的中心为对称点对称固定于转盘端面上。

3.根据权利要求2所述的翻转机构，其特征在于，所有装配框架沿转盘的圆周方向等距间隔布置，且所有装配框架的规格相同。

4.根据权利要求2所述的翻转机构，其特征在于，所有装配框架沿转盘的圆周方向等距间隔布置，且至少包括两种规格的装配框架，互相对称的两个装配框架规格相同。

5.根据权利要求1所述的翻转机构，其特征在于，所述装配框架整体呈U型结构，所述晶舟盒的外端上部固定有向外延伸的两根铰接轴，通过两根铰接轴将晶舟盒铰连于所述装配框架内，所述驱动杆固定于所述晶舟盒的外端下部。

6.根据权利要求5所述的翻转机构，其特征在于，所述装配框架的两个侧板上对应开设有沿高度方向布置的竖直孔，所述驱动杆的两端穿过两个侧板的竖直孔设置。

7.根据权利要求5所述的翻转机构，其特征在于，所述驱动杆的一端与位于同侧的铰接轴之间设置位于装配框架内的连杆组件，所述连杆组件包括驱动连杆，所述驱动连杆的一端固定于所述驱动杆上，另一端通过旋转销轴铰接于晶舟盒的外侧壁上，所述旋转销轴位于所述驱动杆的内侧。

8.根据权利要求1所述的翻转机构，其特征在于，所述转盘通过转轴能转动地装配于甩干筒内，所述顶杆的顶端安装有密封顶头，所述甩干筒内于筒底和所述转盘之间设置有一圈封板，所述封板上开设有用于顶杆穿过的通孔，所述转盘上的通孔配合密封顶头设置，所述驱动气缸驱动密封顶头自低位状态上升至高位状态，处于低位状态时所述密封顶头的底面紧贴封板的端面将甩干筒密封，处于高位状态时所述密封顶头通过驱动杆将晶舟盒翻转至开口朝上。

9.根据权利要求8所述的翻转机构，其特征在于，所述甩干筒的底部设置有定位气缸，所述定位气缸的驱动端安装有定位滚轮，所述转轴上同轴连接有定位盘，所述定位盘的外缘间隔开设有若干个定位槽，所述定位气缸驱动定位滚轮卡入所述定位槽中使密封顶头与转盘上的通孔相对应。

10.一种晶圆甩干机，其特征在于，所述晶圆甩干机包括上述权利要求1-9任一项所述的翻转机构。