[实用新型]一种存储装置及真空存储装置有效

专利信息
申请号: 202120349851.2 申请日: 2021-02-05
公开(公告)号: CN214313158U 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 郭德华;李斌;王路平;赵建国;国营 申请(专利权)人: 山东天岳先进科技股份有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;F26B3/30
代理公司: 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 代理人: 冯妙娜
地址: 250118 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 本申请公开了一种存储装置及真空存储装置,该存储装置包括:存储本体,所述存储本体包括基座和罩体,所述基座用于承载工作件,所述基座和所述罩体配合形成放置所述工作件的容纳腔;升降组件,所述升降组件分别与所述罩体和所述基座连接,所述升降组件用于驱动所述罩体相对于所述基座升降以打开和关闭所述容纳腔;和干燥组件,所述干燥组件包括用于加热所述工作件的至少一个加热件,所述加热件设置在所述基座,所述基座顶面与所述加热件对应的区域设置至少一个定位部以放置所述工作件。该存储装置将吸附在工作件孔隙中的水分彻底蒸发出来,使工作件在存储过程中同时被干燥,保证后续晶体的生长质量。
搜索关键词: 一种 存储 装置 真空
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