[实用新型]一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台有效

专利信息
申请号: 202120312962.6 申请日: 2021-02-04
公开(公告)号: CN214417196U 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 杜宁 申请(专利权)人: 山东金鑫电子科技有限公司
主分类号: B08B5/04 分类号: B08B5/04;H01L21/683;H01L21/687;B01D46/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 256655 山东省滨州市滨城区*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型涉及集成电路板制造技术领域,方案一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台,包括底板,所述底板底端左右对称设有支脚,所述底板顶端设置有电路板安装机构,所述电路板安装机构上安装有集成电路板,所述底板顶端设有支架,所述支架为U型架,所述支架顶端中部设有第一电动推杆,本方案可通过电路板安装机构实现对电路板的快速定位夹持,使其处于合适的除尘工位,本方案中真空气泵具有两用性,其一可以作为除尘动力端使用,通过调节吸气盘的位置可以对电路板上的灰尘进行吸除操作,其二可以作为电路板提升动力端使用,可将电路板吸取至翻转工位进行翻面操作,方案中设计的净化过滤器可对含尘进行净化处理。
搜索关键词: 一种 有气 翻转 机构 集成电路 制造 工作台
【主权项】:
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