[实用新型]一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台

权利要求书

1.一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台，其特征在于，包括底板（1），所述底板（1）底端左右对称设有支脚（2），所述底板（1）顶端设置有电路板安装机构（3），所述电路板安装机构（3）上安装有集成电路板（4），所述底板（1）顶端设有支架（5），所述支架（5）为U型架，所述支架（5）顶端中部设有第一电动推杆（6），所述第一电动推杆（6）的活动端设有吸气盘（7），所述吸气盘（7）的底端分布有吸嘴（71），所述底板（1）顶端左侧设有真空气泵（8），所述真空气泵（8）通过气管（10）与吸气盘（7）连接，所述支架（5）顶板底端左右对称设置有竖板（11），所述竖板（11）的下部设有翻转机构。

2.根据权利要求1所述的一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台，其特征在于：所述气管（10）与真空气泵（8）的抽气端之间设置有净化过滤器（9）。

3.根据权利要求1所述的一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台，其特征在于：所述电路板安装机构（3）包括块体（301），所述块体（301）的内侧下部沿横向设有第一丝杆腔（302），所述第一丝杆腔（302）内横向转动设有第一双旋向丝杆（303），所述第一双旋向丝杆（303）左端贯穿块体（301）设有第一电机（305），所述第一丝杆腔（302）内设有左右对称的两组第一滑块（304），所述第一双旋向丝杆（303）螺接贯穿两组第一滑块（304），所述第一滑块（304）顶端设置有第一竖板（306），所述块体（301）上设有供第一竖板（306）移动的通道，所述第一竖板（306）顶部伸出块体（301）顶面。

4.根据权利要求3所述的一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台，其特征在于：所述块体（301）的内侧中部上侧沿纵向设有第二丝杆腔（308），所述第二丝杆腔（308）设有第二双旋向丝杆（309），所述第二双旋向丝杆（309）前端贯穿块体（301）连接有第二电机（310），所述第二丝杆腔（308）内设有前后对称的两组第二滑块（311），所述第二双旋向丝杆（309）螺接贯穿两组第二滑块（311），所述第二滑块（311）顶端设有第二竖板（312），所述块体（301）上设有供第二竖板（312）移动的通道，所述第二竖板（312）顶部伸出块体（301）顶面。

5.根据权利要求4所述的一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台，其特征在于：所述第一竖板（306）和第二竖板（312）的上部均设有楔形定位块（314）。

6.根据权利要求1所述的一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台，其特征在于：所述翻转机构包括第二电动推杆（12），所述第二电动推杆（12）设在竖板（11）的下部，所述第二电动推杆（12）的活动端设有翻转电机（13），所述翻转电机（13）的输出轴上设有夹板（14）。