[实用新型]一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台有效

专利信息
申请号: 202120312962.6 申请日: 2021-02-04
公开(公告)号: CN214417196U 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 杜宁 申请(专利权)人: 山东金鑫电子科技有限公司
主分类号: B08B5/04 分类号: B08B5/04;H01L21/683;H01L21/687;B01D46/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 256655 山东省滨州市滨城区*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 有气 翻转 机构 集成电路 制造 工作台
【说明书】:

本实用新型涉及集成电路板制造技术领域,方案一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台,包括底板,所述底板底端左右对称设有支脚,所述底板顶端设置有电路板安装机构,所述电路板安装机构上安装有集成电路板,所述底板顶端设有支架,所述支架为U型架,所述支架顶端中部设有第一电动推杆,本方案可通过电路板安装机构实现对电路板的快速定位夹持,使其处于合适的除尘工位,本方案中真空气泵具有两用性,其一可以作为除尘动力端使用,通过调节吸气盘的位置可以对电路板上的灰尘进行吸除操作,其二可以作为电路板提升动力端使用,可将电路板吸取至翻转工位进行翻面操作,方案中设计的净化过滤器可对含尘进行净化处理。

技术领域

本实用新型涉及集成电路板制造技术领域,具体为一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台。

背景技术

集成电路测试仪是对集成电路进行测试的专用仪器设备。集成电路测试是保证集成电路性能、质量的关键手段之一。集成电路测试技术是发展集成电路产业的三大支撑技术之一,因此,集成电路测试仪作为一个测试门类受到很多国家的角度重视,40年来,随着集成电路发展到第四代,集成电路测试仪也从最初测试小规模集成电路发展到测试中规模、大规模和超大规模集成电路,当今半导体工业大多数应用的是基于硅的集成电路。

但是,集成电路测试仪在长时间使用时表面会积有许多灰尘,而目前都是通过人工对其进行除尘,从而存在需要花费大量的时间、浪费人力、且除尘速度慢的缺点。

专利号CN202020209188.1涉及一种集成电路测试用集成电路板除尘装置。其中,该集成电路测试用集成电路板除尘装置包括工作台、吸尘管道、除静电管道和风机,工作台上设有用于放置集成电路板的置物板和用于固定电路板的固定组件;风机具有进风口和出风口,风机的进风口与吸尘管道连通,吸尘管道的吸尘口朝向置物板;风机的出风口处与除静电管道连通,除静电管道的出口朝向置物板,出口与出风口之间的除静电管道内设有离子发生机构,离子发生机构用于产生带有正负电荷离子的气团。本实用新型的集成电路测试用集成电路板除尘装置具有除尘彻底及集成电路板损伤小的优点。

但是上述装置在工作时只能自动完成电路板一面的除尘,对于一些需要双面除尘的电路板,其需要人工翻转电路板,才可以继续进行电路板翻面除尘,而人工操作的效率较低,且单一动作的重复极为枯燥。

基于此,本方案设计了一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台,以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台,以解决上述背景技术中的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有气吸翻转机构的集成电路制造工作台,包括底板,所述底板底端左右对称设有支脚,所述底板顶端设置有电路板安装机构,所述电路板安装机构上安装有集成电路板,所述底板顶端设有支架,所述支架为U型架,所述支架顶端中部设有第一电动推杆,所述第一电动推杆的活动端设有吸气盘,所述吸气盘的底端分布有吸嘴,所述底板顶端左侧设有真空气泵,所述真空气泵通过气管与吸气盘连接,所述支架顶板底端左右对称设置有竖板,所述竖板的下部设有翻转机构。

优选的,所述气管与真空气泵的抽气端之间设置有净化过滤器。

优选的,所述电路板安装机构包括块体,所述块体的内侧下部沿横向设有第一丝杆腔,所述第一丝杆腔内横向转动设有第一双旋向丝杆,所述第一双旋向丝杆左端贯穿块体设有第一电机,所述第一丝杆腔内设有左右对称的两组第一滑块,所述第一双旋向丝杆螺接贯穿两组第一滑块,所述第一滑块顶端设置有第一竖板,所述块体上设有供第一竖板移动的通道,所述第一竖板顶部伸出块体顶面。

优选的,所述块体的内侧中部上侧沿纵向设有第二丝杆腔,所述第二丝杆腔设有第二双旋向丝杆,所述第二双旋向丝杆前端贯穿块体连接有第二电机,所述第二丝杆腔内设有前后对称的两组第二滑块,所述第二双旋向丝杆螺接贯穿两组第二滑块,所述第二滑块顶端设有第二竖板,所述块体上设有供第二竖板移动的通道,所述第二竖板顶部伸出块体顶面。

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