[实用新型]一种晶圆输送下料机构有效
| 申请号： | 202120297585.3 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN214690377U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 杨勇 | 申请（专利权）人： | 苏州矩浪科技有限公司 |
| 主分类号： | B65B23/00 | 分类号： | B65B23/00 |
| 代理公司： | 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 | 代理人： | 刘巍 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆输送下料机构，包括支撑平台、设置于支撑平台上用于有序放置料盒的料盒放置装置、设置于支撑平台上用于控制Y方向移动的Y轴移动装置、设置于Y轴移动装置上用于控制Z方向移动的Z轴移动装置、设置于Z轴移动装置上用于夹持料盒且收纳下料的晶圆的夹框装置、设置于支撑平台上用于放置晶圆的晶圆安装装置、设置于晶圆安装装置上用于推动晶圆安装装置上的晶圆的推料装置，本实用新型的有益效果是，通过料盒放置装置、夹框装置、晶圆安装装置、推料装置配合能够很好地将晶圆推至夹框装置中的料盒内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 输送 机构 | ||
【主权项】：
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