[实用新型]一种晶圆输送下料机构

权利要求书

1.一种晶圆输送下料机构，包括支撑平台(1)，其特征在于，还包括：

料盒放置装置(2)，设置于支撑平台(1)上用于有序放置料盒；

Y轴移动装置(3)，设置于支撑平台(1)上用于控制Y方向的移动；

Z轴移动装置(4)，设置于Y轴移动装置(3)上用于控制Z方向的移动；

夹框装置(5)，设置于Z轴移动装置(4)上用于收纳下料的晶圆；

晶圆安装装置(6)，设置于支撑平台(1)上用于放置晶圆；

推料装置(7)，设置于晶圆安装装置(6)上用于推动晶圆安装装置(6)上的晶圆。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆输送下料机构，其特征在于，所述料盒放置装置(2)设有两个且呈上下分布，其包括料盒输送机构(21)、设置于料盒输送机构(21)下方四周的支撑杆(22)、设置于料盒输送机构(21)上方四周的挡块(23)、设置于料盒输送机构(21)上方一侧的挡板(24)；所述支撑杆(22)的下端固定安装于支撑平台(1)上；所述支撑杆(22)的上端固定安装于料盒输送机构(21)的下端，所述挡块(23)固定安装于料盒输送机构(21)的上端，所述挡板(24)固定安装于料盒输送机构(21)上。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆输送下料机构，其特征在于，所述Y轴移动装置(3)包括第一直线模组。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆输送下料机构，其特征在于，所述Z轴移动装置(4)包括第二直线模组，所述Z轴移动装置(4)固定安装于Y轴移动装置(3)上。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆输送下料机构，其特征在于，所述夹框装置(5)包括固定块(51)、设置于固定块(51)下方两侧的第一夹爪(52)、设置于固定块(51)上的第一气缸(53)、与第一气缸(53)连接的第一推杆、与第一推杆固定连接的推动块(54)、设置于推动块(54)上方左右两侧的第二夹爪(55)，所述固定块(51)固定安装于第二直线模组上，所述第一夹爪(52)固定安装于固定块(51)上，所述第一气缸(53)固定安装于固定块(51)上，所述第二夹爪(55)固定安装于推动块(54)上；推动块(54)上靠近第二夹爪(55)一侧设有传感器(56)。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆输送下料机构，其特征在于，所述晶圆安装装置(6)包括安装架(61)、设置于安装架(61)上方两侧呈对称分布的压紧装置、设置于两侧的压紧装置上的限位柱(63)、设置于压紧装置上的固定架(64)、设置于固定架(64)上的光电传感器(65)；所述安装架(61)固定安装于支撑平台(1)上，所述限位柱(63)的一端与一侧的压紧装置固定连接，其另一端与另一侧的压紧装置固定连接，所述固定架(64)设有两个且前后对称设置于安装架(61)上，两侧固定架(64)上的光电传感器(65)呈对称设置；所述安装架(61)上方位于两侧的限位柱之间设有加热平台(66)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆输送下料机构，其特征在于，所述压紧装置包括基板(621)、设置于基板(621)上的主动轮(622)、与主动轮(622)连接的驱动电机(623)、与主动轮(622)通过皮带连接的若干第一皮带轮(624)、与第一皮带轮(624)通过皮带连接的第二皮带轮(625)、设置于基板(621)上两侧的压轮(626)、设置于基板(621)上的压板(627)、设置于压板(627)上方的限宽板(628)；所述基板(621)固定安装于安装架(61)上，所述驱动电机(623)固定安装于基板(621)上，所述第二皮带轮(625)设有两个且对称设置于基板(621)的前后两侧，所述第一皮带轮(624)、第二皮带轮(625)固定安装于基板(621)上，所述压轮(626)与安装皮带后的第二皮带轮(625)相切；所述压轮(626)固定安装于基板(621)上，所述压板(627)设置于两侧的第二皮带轮(625)之间且固定安装于基板(621)上，所述限宽板(628)固定安装于基板(621)上且其与压板(627)之间存在间隙，该间隙大于皮带及晶圆厚度之和。