[实用新型]清洗抛光机的外周挡罩的组件及抛光机的清洗系统有效
| 申请号： | 202120295832.6 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN214393739U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 马科宁 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B55/04;B24B55/06;B08B3/02 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;姚勇政 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种清洗抛光机的外周挡罩的组件及抛光机的清洗系统，其中，所述抛光机配备有主清洗管路，所述主清洗管路用于输送清洗液以对抛光机中的除了所述外周挡罩以外的其他部件进行清洗，所述挡罩清洗组件包括：挡罩清洗管路，所述挡罩清洗管路连接至所述主清洗管路，使得所述挡罩清洗管路能够输送来自所述主清洗管路的清洗液；多个挡罩清洗喷嘴，所述多个挡罩清洗喷嘴安装在所述挡罩清洗管路上，使得所述挡罩清洗管路输送的清洗液能够经由所述多个挡罩清洗喷嘴喷射至所述外周挡罩的内壁。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 抛光机 外周挡罩 组件 系统 | ||
【主权项】：
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