[实用新型]清洗抛光机的外周挡罩的组件及抛光机的清洗系统

权利要求书

1.一种用于清洗抛光机的外周挡罩的挡罩清洗组件，其中，所述抛光机配备有主清洗管路，所述主清洗管路用于输送清洗液以对抛光机中的除了所述外周挡罩以外的其他部件进行清洗，其特征在于，所述挡罩清洗组件包括：

挡罩清洗管路，所述挡罩清洗管路连接至所述主清洗管路，使得所述挡罩清洗管路能够输送来自所述主清洗管路的清洗液；

多个挡罩清洗喷嘴，所述多个挡罩清洗喷嘴安装在所述挡罩清洗管路上，使得所述挡罩清洗管路输送的清洗液能够经由所述多个挡罩清洗喷嘴喷射至所述外周挡罩的内壁。

2.根据权利要求1所述的挡罩清洗组件，其特征在于，所述挡罩清洗管路以与所述外周挡罩相邻的方式在同一水平面中延伸。

3.根据权利要求2所述的挡罩清洗组件，其特征在于，所述多个挡罩清洗喷嘴构造成能够绕所述挡罩清洗管路的纵向轴线相对于所述外周挡罩被转动。

4.根据权利要求3所述的挡罩清洗组件，其特征在于，所述多个挡罩清洗喷嘴经由三通管接头连接至所述挡罩清洗管路。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的挡罩清洗组件，其特征在于，所述多个挡罩清洗喷嘴构造成将清洗液以散射的方式喷射出。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的挡罩清洗组件，其特征在于，所述挡罩清洗管路在所述主清洗管路的下游端部处连接至所述主清洗管路。

7.一种抛光机的清洗系统，其特征在于，所述清洗系统包括：

清洗液供应源，所述清洗液供应源用于供应高压清洗液；

主清洗管路，所述主清洗管路用于输送所述清洗液供应源供应的清洗液；

至少一个主清洗喷嘴，所述至少一个主清洗喷嘴安装在所述主清洗管路上，使得所述主清洗管路输送的清洗液能够经由所述至少一个主清洗喷嘴喷射至所述抛光机中的除了外周挡罩以外的其他部件；

根据权利要求1至6中任一项所述的挡罩清洗组件。

8.根据权利要求7所述的清洗系统，其特征在于，所述清洗液为去离子水或超纯水。

9.根据权利要求7或8所述的清洗系统，其特征在于，所述主清洗管路设置有气缸阀，所述气缸阀位于所述至少一个主清洗喷嘴和所述多个挡罩清洗喷嘴上游的位置处。

10.根据权利要求9所述的清洗系统，其特征在于，所述系统还包括：

空气供应源；

用于将所述空气供应源供应的空气输送至所述气缸阀的空气输送管路，其中，所述空气输送管路设置有电磁阀。