[实用新型]晶圆检测装置有效
| 申请号： | 202120276936.2 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN214503403U | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 孙军;潘亮良 | 申请（专利权）人： | 无锡新微阳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种晶圆检测装置，其包括底座，底座上设有显微镜和齿条，底座上滑动连接有移动板，移动板上转动连接有第二齿轮和丝杆，第二齿轮与齿条啮合，移动板上滑动连接有滑动台，丝杆与滑动台螺纹连接，移动板的移动方向与滑动台的移动方向垂直，滑动台上设有检测台，检测台上开设有安装槽，安装槽开口向上。本申请具有改善显微镜镜头难以调整，导致晶圆检测不便的缺陷的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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