[实用新型]晶圆检测装置

权利要求书

1.一种晶圆检测装置，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)上设有显微镜(2)和齿条(4)，所述底座(1)上滑动连接有移动板(3)，所述移动板(3)上转动连接有第二齿轮(9)和丝杆(13)，所述第二齿轮(9)与齿条(4)啮合，所述移动板(3)上滑动连接有滑动台(10)，所述丝杆(13)与滑动台(10)螺纹连接，所述移动板(3)的移动方向与滑动台(10)的移动方向垂直，所述滑动台(10)上设有检测台(17)，所述检测台(17)上开设有安装槽(171)，所述安装槽(171)开口向上。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述移动板(3)上设有第一电机(6)，所述第一电机(6)的输出轴上同轴设有第一齿轮(8)，所述第一齿轮(8)与第二齿轮(9)啮合。

3.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述移动板(3)上设有第二电机(15)，所述第二电机(15)的输出轴与丝杆(13)的一端连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述底座(1)上开设有两条滑移槽(101)，所述滑移槽(101)开口向上，所述移动板(3)的底部设有滑移条(31)，所述滑移条(31)滑动连接于滑移槽(101)内，所述滑移条(31)和滑移槽(101)的截面均为燕尾形。

5.根据权利要求4所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述滑移槽(101)的一端与底座(1)的边缘齐平。

6.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述安装槽(171)的横截面为圆形。

7.根据权利要求6所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述检测台(17)上开设有连接槽(172)，所述连接槽(172)开口向上，所述连接槽(172)与安装槽(171)连通，所述连接槽(172)的深度大于安装槽(171)的深度。

8.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述滑动台(10)上设有底板(161)，所述底板(161)上设有抽风机(21)，所述底板(161)上方设有顶板(162)，所述顶板(162)通过侧板(163)与底板(161)连接，所述检测台(17)设置于顶板(162)上，所述检测台(17)上开设有连接孔(173)，所述连接孔(173)为竖直方向的通孔，所述连接孔(173)与安装槽(171)连通，所述连接孔(173)内设有第一连接管(19)，所述第一连接管(19)的内部与安装槽(171)连通，所述第一连接管(19)贯穿顶板(162)，所述第一连接管(19)与抽风机(21)连接。