[实用新型]晶圆检测装置

说明书

本申请涉及一种晶圆检测装置，其包括底座，底座上设有显微镜和齿条，底座上滑动连接有移动板，移动板上转动连接有第二齿轮和丝杆，第二齿轮与齿条啮合，移动板上滑动连接有滑动台，丝杆与滑动台螺纹连接，移动板的移动方向与滑动台的移动方向垂直，滑动台上设有检测台，检测台上开设有安装槽，安装槽开口向上。本申请具有改善显微镜镜头难以调整，导致晶圆检测不便的缺陷的效果。

技术领域

本申请涉及晶圆检测的领域，尤其是涉及一种晶圆检测装置。

背景技术

晶圆是用于制作半导体电路的硅晶片，硅晶棒经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，即为晶圆。晶圆可制成不同的电路元件结构，通过加工可生产出具有特定电学性能的产品。

半导体工业对晶圆的精度要求较高，因此，为了筛选出残次品，以提高晶圆的质量，需要对晶圆表面的缺陷进行检测。常用的晶圆检测方法有针触法、原子力法、光学法等，由于光学检测法无需与晶圆表面接触，减少了对待测晶圆造成损伤的可能性，且光学法能够实现实时检测，因此使用光学法对晶圆进行缺陷检测在半导体工业中较为常见。

针对上述中的相关技术，发明人认为，由于光学检测法一般使用显微镜对晶圆的表面进行观察探测，而目前生产的晶圆尺寸以8-12英寸为主，受设备的结构限制，显微镜的镜头难以调整到晶圆的指定位置，对晶圆检测造成了不便。

实用新型内容

为了改善显微镜镜头难以调整，导致晶圆检测不便的缺陷，本申请提供一种晶圆检测装置。

本申请提供的一种晶圆检测装置采用如下的技术方案：

一种晶圆检测装置，包括底座，所述底座上设有显微镜和齿条，所述底座上滑动连接有移动板，所述移动板上转动连接有第二齿轮和丝杆，所述第二齿轮与齿条啮合，所述移动板上滑动连接有滑动台，所述丝杆与滑动台螺纹连接，所述移动板的移动方向与滑动台的移动方向垂直，所述滑动台上设有检测台，所述检测台上开设有安装槽，所述安装槽开口向上。

通过采用上述技术方案，将晶圆放置于安装槽内，当第二齿轮转动时，由于第二齿轮与齿条啮合，第二齿轮沿着齿条移动，带动移动板移动，从而带动晶圆移动；转动丝杆时，由于滑动台滑动连接于移动板上，且滑动台与丝杆螺纹连接，滑动台沿丝杆长度方向移动，带动检测台移动，从而带动晶圆移动；由于移动板与滑动台的移动方向垂直，使得晶圆的位置能够得到两个方向的调整，便于将晶圆的待测位置与显微镜的镜头对准，改善了显微镜镜头难以调整，导致晶圆检测不便的缺陷。

可选的，所述移动板上设有第一电机，所述第一电机的输出轴上同轴设有第一齿轮，所述第一齿轮与第二齿轮啮合。

通过采用上述技术方案，启动第一电机时，第一电机的输出轴带动第一齿轮转动，第二齿轮随之转动，从而带动移动板沿齿条长度方向移动，第一电机和第一齿轮的设置使得晶圆位置的调整便于控制，提高了晶圆检测的便利性。

可选的，所述移动板上设有第二电机，所述第二电机的输出轴与丝杆的一端连接。

通过采用上述技术方案，第二电机的设置使得丝杆无需人工转动，便于控制丝杆对晶圆的位置进行调整，使得晶圆的检测更加方便。

可选的，所述底座上开设有两条滑移槽，所述滑移槽开口向上，所述移动板的底部设有滑移条，所述滑移条滑动连接于滑移槽内，所述滑移条和滑移槽的截面均为燕尾形。

通过采用上述技术方案，在移动板的底部设置两根滑移条，使得移动板得到平衡的支撑，提高移动板滑动时的稳定性，滑移条和滑移槽截面的燕尾形设置，减少了移动板与底座脱离的可能性。

可选的，所述滑移槽的一端与底座的边缘齐平。

通过采用上述技术方案，滑移槽的端部与底座边缘齐平，便于将移动板安装于底座上。

可选的，所述安装槽的横截面为圆形。