[实用新型]定位机构

摘要

本申请涉及一种定位机构。该定位机构包括：第一定位组件和监测组件，第一定位组件包括沿第一方向相对设置的两个第一定位件，两个第一定位件之间具有一用于容纳石墨舟的容纳空间，两个第一定位件被构造为能够彼此靠近或彼此远离，当两个第一定位件彼此靠近时能够夹紧石墨舟。监测组件设置于第一定位件的至少一者上，用于监测所在的第一定位件是否接触石墨舟。本申请不仅能够对加工位的石墨舟进行定位夹持，以保证石墨舟能够稳定承载硅片，同时还能检查石墨舟的是否处于异常状态，以便于工作人员及时发现问题并处理，避免石墨舟在异常状态下被使用而影响后续处理，进而保证整个工艺流程有序进行。