[实用新型]定位机构有效
| 申请号: | 202120276675.4 | 申请日: | 2021-01-29 |
| 公开(公告)号: | CN214123854U | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
| 发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 无锡先导智能装备股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L31/18;H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 杜萌 |
| 地址: | 214123 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 定位 机构 | ||
1.一种定位机构,其特征在于,包括:
第一定位组件(110),包括沿第一方向(X)相对设置的两个第一定位件(111),所述两个第一定位件(111)之间具有一用于容纳石墨舟(200)的容纳空间,所述两个第一定位件(111)被构造为能够彼此靠近或彼此远离,当所述两个第一定位件(111)彼此靠近时能够夹紧所述石墨舟(200);及
监测组件(120),设置于所述两个第一定位件(111)的至少一者上,用于监测所在的所述第一定位件(111)是否接触所述石墨舟(200)。
2.根据权利要求1所述的定位机构,其特征在于,所述监测组件(120)包括电源、导电块(121)和检测模块;
所述电源与所述导电块(121)连接,所述导电块(121)位于所述容纳空间,且连接于所述第一定位件(111),在所述两个第一定位件(111)夹紧所述石墨舟(200)时,所述导电块(121)能够接触所述石墨舟(200);
所述检测模块被构造为能够检测所述石墨舟(200)上的电流或电压;
根据所述检测模块的检测值判断所述监测组件(120)所在的所述第一定位件(111)是否接触所述石墨舟(200)。
3.根据权利要求1所述的定位机构,其特征在于,所述监测组件(120)包括压力传感器,所述压力传感器位于所述容纳空间,且连接于所述第一定位件(111);
在所述两个第一定位件(111)夹紧所述石墨舟(200)时,所述压力传感器能够与所述石墨舟(200)接触,以检测所述石墨舟(200)和所述第一定位件(111)之间的相互作用力;
根据所述压力传感器检测到的相互作用力判断所述监测组件(120)所在的所述第一定位件(111)是否接触所述石墨舟(200)。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的定位机构,其特征在于,所述两个第一定位件(111)中的至少一者包括固定板(1111)和弹性件(1113),所述弹性件(1113)的一端与所述固定板(1111)连接,所述弹性件(1113)的另一端朝向所述石墨舟(200)延伸;
当所述两个第一定位件(111)夹紧所述石墨舟(200)时,所述弹性件(1113)受压于所述固定板(1111)和所述石墨舟(200)之间。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的定位机构,其特征在于,所述定位机构还包括第二定位组件(130),所述第二定位组件(130)包括第二定位件(131);
所述第二定位件(131)被构造为位于所述石墨舟(200)的运动路径上,且当所述石墨舟(200)位于所述容纳空间时,所述第二定位件(131)能够抵靠于所述石墨舟(200)在前进方向(Y)上的一侧,以限制所述石墨舟(200)在所述前进方向(Y)上的运动;
所述前进方向(Y)与所述第一方向(X)在同一水平面上的正投影垂直。
6.根据权利要求5所述的定位机构,其特征在于,所述第二定位件(131)被构造为受控在第一位置和第二位置之间运动;
在所述第一位置时,所述第二定位件(131)位于所述运动路径,以限制所述石墨舟(200)在所述前进方向(Y)上的运动;
在所述第二位置时,所述第二定位件(131)远离所述运动路径,以在所述前进方向(Y)上避让所述石墨舟(200)。
7.根据权利要求5所述的定位机构,其特征在于,所述第二定位组件(130)还包括第三定位件(132),所述第三定位件(132)和所述第二定位件(131)间隔布置;
所述第三定位件(132)能够位于所述运动路径,当所述石墨舟(200)位于所述容纳空间时,所述第三定位件(132)能够与所述第二定位件(131)均抵靠于所述石墨舟(200)在所述前进方向(Y)上的一侧,且所述第三定位件(132)抵靠于所述石墨舟(200)的舟托(210),所述第二定位件(131)抵靠于所述石墨舟(200)的舟体(220)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡先导智能装备股份有限公司,未经无锡先导智能装备股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120276675.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种便于携带的英语教学用教具
- 下一篇:一种气象监测原理科普装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





