[实用新型]定位机构有效

专利信息
申请号: 202120276675.4 申请日: 2021-01-29
公开(公告)号: CN214123854U 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 无锡先导智能装备股份有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L31/18;H01L21/673
代理公司: 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 代理人: 杜萌
地址: 214123 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 定位 机构
【权利要求书】:

1.一种定位机构,其特征在于,包括:

第一定位组件(110),包括沿第一方向(X)相对设置的两个第一定位件(111),所述两个第一定位件(111)之间具有一用于容纳石墨舟(200)的容纳空间,所述两个第一定位件(111)被构造为能够彼此靠近或彼此远离,当所述两个第一定位件(111)彼此靠近时能够夹紧所述石墨舟(200);及

监测组件(120),设置于所述两个第一定位件(111)的至少一者上,用于监测所在的所述第一定位件(111)是否接触所述石墨舟(200)。

2.根据权利要求1所述的定位机构,其特征在于,所述监测组件(120)包括电源、导电块(121)和检测模块;

所述电源与所述导电块(121)连接,所述导电块(121)位于所述容纳空间,且连接于所述第一定位件(111),在所述两个第一定位件(111)夹紧所述石墨舟(200)时,所述导电块(121)能够接触所述石墨舟(200);

所述检测模块被构造为能够检测所述石墨舟(200)上的电流或电压;

根据所述检测模块的检测值判断所述监测组件(120)所在的所述第一定位件(111)是否接触所述石墨舟(200)。

3.根据权利要求1所述的定位机构,其特征在于,所述监测组件(120)包括压力传感器,所述压力传感器位于所述容纳空间,且连接于所述第一定位件(111);

在所述两个第一定位件(111)夹紧所述石墨舟(200)时,所述压力传感器能够与所述石墨舟(200)接触,以检测所述石墨舟(200)和所述第一定位件(111)之间的相互作用力;

根据所述压力传感器检测到的相互作用力判断所述监测组件(120)所在的所述第一定位件(111)是否接触所述石墨舟(200)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的定位机构,其特征在于,所述两个第一定位件(111)中的至少一者包括固定板(1111)和弹性件(1113),所述弹性件(1113)的一端与所述固定板(1111)连接,所述弹性件(1113)的另一端朝向所述石墨舟(200)延伸;

当所述两个第一定位件(111)夹紧所述石墨舟(200)时,所述弹性件(1113)受压于所述固定板(1111)和所述石墨舟(200)之间。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的定位机构,其特征在于,所述定位机构还包括第二定位组件(130),所述第二定位组件(130)包括第二定位件(131);

所述第二定位件(131)被构造为位于所述石墨舟(200)的运动路径上,且当所述石墨舟(200)位于所述容纳空间时,所述第二定位件(131)能够抵靠于所述石墨舟(200)在前进方向(Y)上的一侧,以限制所述石墨舟(200)在所述前进方向(Y)上的运动;

所述前进方向(Y)与所述第一方向(X)在同一水平面上的正投影垂直。

6.根据权利要求5所述的定位机构,其特征在于,所述第二定位件(131)被构造为受控在第一位置和第二位置之间运动;

在所述第一位置时,所述第二定位件(131)位于所述运动路径,以限制所述石墨舟(200)在所述前进方向(Y)上的运动;

在所述第二位置时,所述第二定位件(131)远离所述运动路径,以在所述前进方向(Y)上避让所述石墨舟(200)。

7.根据权利要求5所述的定位机构,其特征在于,所述第二定位组件(130)还包括第三定位件(132),所述第三定位件(132)和所述第二定位件(131)间隔布置;

所述第三定位件(132)能够位于所述运动路径,当所述石墨舟(200)位于所述容纳空间时,所述第三定位件(132)能够与所述第二定位件(131)均抵靠于所述石墨舟(200)在所述前进方向(Y)上的一侧,且所述第三定位件(132)抵靠于所述石墨舟(200)的舟托(210),所述第二定位件(131)抵靠于所述石墨舟(200)的舟体(220)。

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