[实用新型]一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱有效
| 申请号： | 202120268806.4 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN214369312U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 甘万;杨欣;江福荣 | 申请（专利权）人： | 上海盛韬半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;F17D5/02;F17D5/00;F17C13/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱，包括：箱体、工艺气体供应单元、Pigtail单元、控制单元和报警单元，工艺气体供应单元、Pigtail单元和控制单元与箱体内部连接，Pigtail单元与钢瓶连接，报警单元与箱体连接。其中，工艺气体供应单元包括：入口隔离阀、过滤器、出口隔离阀、气动隔离阀、吹扫隔离阀、排放隔离阀、微漏阀、真空发生器组、压力传感器、单向阀和测试阀。本实用新型与传统技术相比，通过设计增设深度吹扫箱工艺气体供应单元，实现满足特殊气体超高流量运输的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 特殊 气体 超高 流量 输送 设备 深度 吹扫箱 | ||
【主权项】：
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