[实用新型]一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱

说明书

一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱，包括：箱体、工艺气体供应单元、Pigtail单元、控制单元和报警单元，工艺气体供应单元、Pigtail单元和控制单元与箱体内部连接，Pigtail单元与钢瓶连接，报警单元与箱体连接。其中，工艺气体供应单元包括：入口隔离阀、过滤器、出口隔离阀、气动隔离阀、吹扫隔离阀、排放隔离阀、微漏阀、真空发生器组、压力传感器、单向阀和测试阀。本实用新型与传统技术相比，通过设计增设深度吹扫箱工艺气体供应单元，实现满足特殊气体超高流量运输的需求。

技术领域

本实用新型涉及特殊气体输送技术领域，具体涉及一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。

超高流量气体供应设备BSGS主要用在半导体、光伏产业中为工艺机台连续配送工艺气体。因有些机台所需的流量超高，一般传统的大流量供应系统(BSGS)难以满足流量需求。

为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。

一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱，包括：箱体、工艺气体供应单元、Pigtail单元、控制单元和报警单元，所述工艺气体供应单元、Pigtail单元和控制单元与箱体内部连接，所述Pigtail单元与钢瓶连接，所述报警单元与箱体连接；

其中，所述工艺气体供应单元包括：入口隔离阀、过滤器、出口隔离阀、气动隔离阀、吹扫隔离阀、排放隔离阀、微漏阀、真空发生器组、压力传感器、单向阀和测试阀，所述入口隔离阀前端与Pigtail单元连接，所述入口隔离阀后端与过滤器连接，所述入口隔离阀和过滤器中间设有压力传感器，所述过滤器后端与出口隔离阀连接，所述出口隔离阀后端与特殊气体供应设备主体柜连接，所述气动隔离阀前端与Pigtail单元连接，所述气动隔离阀和Pigtail单元中间设置有压力传感器，所述气动隔离阀后端与吹扫隔离阀和排放隔离阀连接，所述吹扫隔离阀前端通过管路与吹扫气连接，所述排放隔离阀后端与微漏阀连接，所述微漏阀后端与真空发生器组连接，所述真空发生器组另一端通过管路与气体GN2连接，所述真空发生器组与设备外部排放点连接，所述单向阀与吹扫隔离阀前端连接，所述测试阀与气动隔离阀后端连接。

进一步，所述报警单元包括：气体泄漏传感器、火焰探测器和声光报警器，所述气体泄漏传感器和火焰探测器与箱体内部连接，所述声光报警器与箱体连接。

本实用新型的有益效果：

本实用新型与传统技术相比，通过设计增设深度吹扫箱工艺气体供应单元，实现满足特殊气体超高流量运输的需求。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图。

附图标记：

箱体100、工艺气体供应单元200、入口隔离阀210、过滤器220、出口隔离阀230、气动隔离阀240、吹扫隔离阀250、排放隔离阀260、微漏阀270、真空发生器组280、压力传感器290、单向阀2100和测试阀2200。

Pigtail单元300、控制单元400、报警单元500、气体泄漏传感器510、火焰探测器520、声光报警器530和钢瓶600。