[实用新型]一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱有效
| 申请号： | 202120268806.4 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN214369312U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 甘万;杨欣;江福荣 | 申请（专利权）人： | 上海盛韬半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;F17D5/02;F17D5/00;F17C13/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 特殊 气体 超高 流量 输送 设备 深度 吹扫箱 | ||
1.一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱，其特征在于，包括：箱体(100)、工艺气体供应单元(200)、Pigtail单元(300)、控制单元(400)和报警单元(500)，所述工艺气体供应单元(200)、Pigtail单元(300)和控制单元(400)与箱体(100)内部连接，所述Pigtail单元(300)与钢瓶(600)连接，所述报警单元(500)与箱体(100)连接；
其中，所述工艺气体供应单元(200)包括：入口隔离阀(210)、过滤器(220)、出口隔离阀(230)、气动隔离阀(240)、吹扫隔离阀(250)、排放隔离阀(260)、微漏阀(270)、真空发生器组(280)、压力传感器(290)、单向阀(2100)和测试阀(2200)，所述入口隔离阀(210)前端与Pigtail单元(300)连接，所述入口隔离阀(210)后端与过滤器(220)连接，所述入口隔离阀(210)和过滤器(220)中间设有压力传感器(290)，所述过滤器(220)后端与出口隔离阀(230)连接，所述出口隔离阀(230)后端与特殊气体供应设备主体柜连接，所述气动隔离阀(240)前端与Pigtail单元(300)连接，所述气动隔离阀(240)和Pigtail单元(300)中间设置有压力传感器(290)，所述气动隔离阀(240)后端与吹扫隔离阀(250)和排放隔离阀(260)连接，所述吹扫隔离阀(250)前端通过管路与吹扫气连接，所述排放隔离阀(260)后端与微漏阀(270)连接，所述微漏阀(270)后端与真空发生器组(280)连接，所述真空发生器组(280)另一端通过管路与气体GN2连接，所述真空发生器组(280)与设备外部排放点连接，所述单向阀(2100)与吹扫隔离阀(250)前端连接，所述测试阀(2200)与气动隔离阀(240)后端连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱，其特征在于，所述报警单元(500)包括：气体泄漏传感器(510)、火焰探测器(520)和声光报警器(530)，所述气体泄漏传感器(510)和火焰探测器(520)与箱体(100)内部连接，所述声光报警器(530)与箱体(100)连接。
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