[实用新型]一种供气均匀的晶体炉结构有效
| 申请号： | 202120233797.5 | 申请日： | 2021-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN214458443U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 郑建生;吴明森;方筱雁;邵治宇 | 申请（专利权）人： | 露笑新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00 |
| 代理公司： | 杭州仁杰专利代理事务所(特殊普通合伙) 33297 | 代理人： | 郑新军 |
| 地址： | 311800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶体炉技术领域，公开了一种供气均匀的晶体炉结构，包括底座、固定在底座上的内炉筒，内炉筒的外侧设有外炉筒，内炉筒与外炉筒之间形成冷却腔，内炉筒与外炉筒的上端固定有炉体法兰，炉体法兰的上侧设有炉盖，炉体法兰的内壁设有环形导流槽，炉体法兰的外壁设有与环形导流槽连接的进气孔，进气孔的外端连接有进气接头，进气接头的中心设有中心孔，进气接头的外端连接有进气管，环形导流槽的开口端设有环形挡环形挡圈与炉体法兰的内壁焊接连接，环形挡圈上设有若干沿周向分布的分流孔，每个分流孔均与环形导流槽连通；所述底座的中心设有抽气管。本实用新型具有进气均匀、能有效提高晶体生长质量的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 供气 均匀 晶体 结构 | ||
【主权项】：
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