[实用新型]一种供气均匀的晶体炉结构

权利要求书

1.一种供气均匀的晶体炉结构，包括底座、固定在底座上的内炉筒，内炉筒的外侧设有外炉筒，内炉筒与外炉筒之间形成冷却腔，内炉筒与外炉筒的上端固定有炉体法兰，炉体法兰的上侧设有炉盖，其特征是，所述炉体法兰的内壁设有环形导流槽，所述炉体法兰的外壁设有与环形导流槽连接的进气孔，所述进气孔的外端连接有进气接头，进气接头的中心设有中心孔，所述进气接头的外端连接有进气管，所述环形导流槽的开口端设有环形挡圈，所述环形挡圈与炉体法兰的内壁焊接连接，所述环形挡圈上设有若干沿周向分布的分流孔，每个分流孔均与环形导流槽连通；所述底座的中心设有抽气管。

2.根据权利要求1所述的一种供气均匀的晶体炉结构，其特征是，所述炉体法兰的内壁上位于环形挡圈的下侧设有定位凸环。

3.根据权利要求1所述的一种供气均匀的晶体炉结构，其特征是，所述进气接头与进气孔的外端之间螺纹连接，进气接头的内端端面设有端面密封圈，进气接头的内端侧面设有环形密封圈。

4.根据权利要求1或3所述的一种供气均匀的晶体炉结构，其特征是，所述进气接头的外端连接有进气管，所述进气接头的外端设有第一卡接凸环，进气管的端部设有第二卡接凸环，所述第一卡接凸环与第二卡接凸环的外侧设有卡箍，第一卡接凸环与第二卡接凸环之间设有骨架密封圈。

5.根据权利要求1所述的一种供气均匀的晶体炉结构，其特征是，所述进气接头内的中心孔的外端设有滤芯安装孔，所述滤芯安装孔内设有滤芯。