[实用新型]一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备有效
| 申请号： | 202120229963.4 | 申请日： | 2021-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN214125594U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 苏宜鹏;冼健威;李南杰 | 申请（专利权）人： | 东莞市晟鼎精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/02 | 分类号： | H05H1/02 |
| 代理公司： | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人： | 刘汉民 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，用于对样品进行等离子处理，包括机架，机架上设有等离子电源、抽真空泵，机架内还设有一真空腔体，真空腔体内设有可拆卸的由横电极板或/和竖电极板构成的电极板组件，电极板组件由真空腔体开口处推入；抽真空泵与真空腔体导通，启动抽真空泵使得真空腔体处于真空状态；真空腔体的进气孔通过气管与供气设备连接；等离子电源连接一匹配器，匹配器通过电极件与横电极板或竖电极板连接。该等离子设备可实现对不同类型样品等离子处理需求，人工成本降低、生产效率提高、处理清洗效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 兼容 横竖 极板 真空 等离子 设备 | ||
【主权项】：
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