[实用新型]一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备

说明书

本实用新型公开了一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，用于对样品进行等离子处理，包括机架，机架上设有等离子电源、抽真空泵，机架内还设有一真空腔体，真空腔体内设有可拆卸的由横电极板或/和竖电极板构成的电极板组件，电极板组件由真空腔体开口处推入；抽真空泵与真空腔体导通，启动抽真空泵使得真空腔体处于真空状态；真空腔体的进气孔通过气管与供气设备连接；等离子电源连接一匹配器，匹配器通过电极件与横电极板或竖电极板连接。该等离子设备可实现对不同类型样品等离子处理需求，人工成本降低、生产效率提高、处理清洗效果更好。

技术领域

本实用新型涉及等离子设备技术领域，尤其涉及一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备。

背景技术

等离子体指部分或完全电离的气体，且自由电子和离子所带正、负电荷的总和完全抵消，宏观上呈现中性电，等离子体产生的活性粒子种类多、活性强，更易于和所接触的材料表面发生反应，常被用来对材料表面进行改性处理。等离子设备主要应用的表面改性处理为:表面清洗、表面活化、表面刻蚀、表面接枝、表面沉积、表面聚合以及等离子体辅助化学气相沉积。

目前市面上大部分真空等离子设备腔体电极板的放置方式为两种：横式放置及竖式放置，上述单一的电极板放置方式存在局限性，如无法实现在同一设备中处理多面的电极样品，通常处理方式为先处理样品的上下面，处理完成后，再人工将电极样品变换放置方式，处理另一面。该设备耗费人工，人工成本高，生产效率低，无法适应生产线上快速生产的需求；且因人为处理，容易处理重叠处理、处理不均匀、处理时间不统一等现象，因此需要一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备来满足人们的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，该等离子设备可实现对不同类型样品等离子处理需求，人工成本降低、生产效率提高、处理清洗效果更好。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，用于对样品进行等离子处理，包括机架，所述机架上设有等离子电源、抽真空泵，所述机架内还设有一真空腔体，所述真空腔体内设有可拆卸的由横电极板或/和竖电极板构成的电极板组件，所述电极板组件由所述真空腔体开口处推入；所述抽真空泵与所述真空腔体导通，启动抽真空泵使得所述真空腔体处于真空状态；所述真空腔体的进气孔通过气管与供气设备连接；所述等离子电源连接一匹配器，所述匹配器通过电极件与所述横电极板或竖电极板连接。

优选的，所述真空腔体内左右两侧均沿水平方向设置若干个第一凹槽，左右两侧的所述第一凹槽的位置一一对应，所述电极板组件沿左右两侧的所述第一凹槽推入至所述真空腔体内。

优选的，所述真空腔体内左右两侧均沿水平方向设置若干个第二凹槽，左右两侧的所述第二凹槽的位置一一对应，所述第二凹槽位于同一侧的相邻两个所述第一凹槽之间。

优选的，所述电极件一端连接于所述匹配器的输出端，所述电极件另一端连接于所述横电极板或所述竖电极板。

优选的，所述电极板组件包括若干个沿水平方向放置的第一横电极板、与每个所述第一横电极板对应的第一边框，每个所述第一边框套设于对应的所述第一横电极板外边缘，套设完成后的所述第一横电极板由左右两侧的所述第一凹槽推入所述真空腔体内；所述样品位于上下相邻的两个第一横电极板之间，所述样品由左右两侧的所述第二凹槽推入所述真空腔体内。

优选的，所述电极件包括正电极插件和负电极插件，所述正电极插件与所述负电极插件交错设置，一所述第一横电极板插入到所述正电极插件另一端，相邻的另一所述第一横电极板插入到所述负电极插件另一端。