[实用新型]一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备

权利要求书

1.一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，用于对样品进行等离子处理，其特征在于，包括机架，所述机架上设有等离子电源、抽真空泵，所述机架内还设有一真空腔体，所述真空腔体内设有可拆卸的由横电极板或/和竖电极板构成的电极板组件，所述电极板组件由所述真空腔体开口处推入；所述抽真空泵与所述真空腔体导通，启动抽真空泵使得所述真空腔体处于真空状态；所述真空腔体的进气孔通过气管与供气设备连接；所述等离子电源连接一匹配器，所述匹配器通过电极件与所述横电极板或竖电极板连接。

2.根据权利要求1所述的可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，其特征在于，所述真空腔体内左右两侧均沿水平方向设置若干个第一凹槽，左右两侧的所述第一凹槽的位置一一对应，所述电极板组件沿左右两侧的所述第一凹槽推入至所述真空腔体内。

3.根据权利要求2所述的可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，其特征在于，所述真空腔体内左右两侧均沿水平方向设置若干个第二凹槽，左右两侧的所述第二凹槽的位置一一对应，所述第二凹槽位于同一侧的相邻两个所述第一凹槽之间。

4.根据权利要求3所述的可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，其特征在于，所述电极件一端连接于所述匹配器的输出端，所述电极件另一端连接于所述横电极板或所述竖电极板。

5.根据权利要求4所述的可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，其特征在于，所述电极板组件包括若干个沿水平方向放置的第一横电极板、与每个所述第一横电极板对应的第一边框，每个所述第一边框套设于对应的所述第一横电极板外边缘，套设完成后的所述第一横电极板由左右两侧的所述第一凹槽推入所述真空腔体内；所述样品位于上下相邻的两个第一横电极板之间，所述样品由左右两侧的所述第二凹槽推入所述真空腔体内。

6.根据权利要求5所述的可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，其特征在于，所述电极件包括正电极插件和负电极插件，所述正电极插件与所述负电极插件交错设置，一所述第一横电极板插入到所述正电极插件另一端，相邻的另一所述第一横电极板插入到所述负电极插件另一端。

7.根据权利要求4所述的可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，其特征在于，所述电极板组件包含若干个沿竖直方向设置的第一竖电极板、上固定板、下固定板及若干个间隔板，所述上固定板、所述下固定板、所述间隔板均沿水平方向设置，所述第一竖电极板均匀间隔固定设置于所述上固定板与所述下固定板之间，相邻的两个所述第一竖电极板之间设置一所述间隔板，装载有样品的弹夹放置于所述间隔板或所述下固定板上；所述上固定板向左右两侧延伸一第一滑块，所述下固定板向左右两侧延伸一第二滑块，所述第一滑块、所述第二滑块均滑动于所述第一凹槽内。

8.根据权利要求7所述的可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，其特征在于，所述电极件包括正电极插件和负电极插件，所述正电极插件与所述负电极插件交错设置，一所述第一竖电极板插入到所述正电极插件另一端，相邻的另一所述第一竖电极板插入到所述负电极插件另一端。

9.根据权利要求4所述的可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，其特征在于，所述电极板组件包含若干个沿水平方向设置的第二横电极板、与每个所述第二横电极板对应的第二边框、及若干个沿竖直方向设置的第二竖电极板，所述第二边框套设于所述第二横电极板外边缘，套设完成后的所述第二横电极板由左右两侧的所述第一凹槽推入所述真空腔体内，所述第二竖电极板交错连接于一所述第二横电极板顶部或相邻另一所述第二横电极板底部，两个相邻的所述第二横电极板与两个相邻的所述第二竖电极板围成一放置腔，装载有样品的弹夹放置于所述第二横电极板上并位于所述放置腔内。

10.根据权利要求9所述的可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，其特征在于，所述电极件包括正电极插件和负电极插件，所述正电极插件与所述负电极插件交错设置，一所述第二横电极板插入到所述正电极插件另一端，相邻的另一所述第二横电极板插入到所述负电极插件另一端。