[实用新型]基于PECVD管理的高温自动清洁装置有效
申请号: | 202120209410.2 | 申请日: | 2021-01-25 |
公开(公告)号: | CN214422746U | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 刘卓铭;杨福年 | 申请(专利权)人: | 深圳和力纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/02 | 分类号: | C23C16/02;C23C16/505;B08B9/032;B08B13/00;G05B19/05 |
代理公司: | 东莞市启信展华知识产权代理事务所(普通合伙) 44579 | 代理人: | 曾永乐 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了基于PECVD管理的高温自动清洁装置,包括空气压缩机、外壳、控制面板、加热器和射频电极,所述外壳的上端安装有空气压缩机,所述外壳的内部侧壁上安装有加热器,所述外壳的外部侧壁上安装有控制面板,所述外壳的中部安装有第一板体、第二板体和第三板体,所述第二板体上贯穿连接有透明管路,所述透明管路的另一端连接有第三板体,所述透明管路和第二板体之间安装有检测机构。本装置通过按动控制面板上的按钮即可启动空气压缩机将加热的压缩空气通入管路中,将融化的药水冲出管路,操作简单,完成清洁后通过检测装置自动检测清洁效果,达标将停止,如未达到设定的清洁度,将重新清洁处理。 | ||
搜索关键词: | 基于 pecvd 管理 高温 自动 清洁 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳和力纳米科技有限公司,未经深圳和力纳米科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202120209410.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种空调压缩机滚子粗车加工的全自动上料装置
- 下一篇:冷风扇
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的