[实用新型]基于PECVD管理的高温自动清洁装置有效

专利信息
申请号: 202120209410.2 申请日: 2021-01-25
公开(公告)号: CN214422746U 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 刘卓铭;杨福年 申请(专利权)人: 深圳和力纳米科技有限公司
主分类号: C23C16/02 分类号: C23C16/02;C23C16/505;B08B9/032;B08B13/00;G05B19/05
代理公司: 东莞市启信展华知识产权代理事务所(普通合伙) 44579 代理人: 曾永乐
地址: 518000 广东省深圳市龙华区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了基于PECVD管理的高温自动清洁装置,包括空气压缩机、外壳、控制面板、加热器和射频电极,所述外壳的上端安装有空气压缩机,所述外壳的内部侧壁上安装有加热器,所述外壳的外部侧壁上安装有控制面板,所述外壳的中部安装有第一板体、第二板体和第三板体,所述第二板体上贯穿连接有透明管路,所述透明管路的另一端连接有第三板体,所述透明管路和第二板体之间安装有检测机构。本装置通过按动控制面板上的按钮即可启动空气压缩机将加热的压缩空气通入管路中,将融化的药水冲出管路,操作简单,完成清洁后通过检测装置自动检测清洁效果,达标将停止,如未达到设定的清洁度,将重新清洁处理。
搜索关键词: 基于 pecvd 管理 高温 自动 清洁 装置
【主权项】:
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