[实用新型]基于ＰＥＣＶＤ管理的高温自动清洁装置有效
| 申请号： | 202120209410.2 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN214422746U | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 刘卓铭;杨福年 | 申请（专利权）人： | 深圳和力纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/02 | 分类号： | C23C16/02;C23C16/505;B08B9/032;B08B13/00;G05B19/05 |
| 代理公司： | 东莞市启信展华知识产权代理事务所(普通合伙) 44579 | 代理人： | 曾永乐 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 pecvd 管理 高温 自动 清洁 装置 | ||
1.基于PECVD管理的高温自动清洁装置，包括空气压缩机(1)、外壳(2)、控制面板(3)、加热器(6)和射频电极(4)，其特征在于：所述外壳(2)的上端安装有空气压缩机(1)，所述外壳(2)的内部侧壁上安装有加热器(6)，所述外壳(2)的外部侧壁上安装有控制面板(3)，所述外壳(2)的中部安装有垂直于外壳(2)底面的第一板体(21)、第二板体(22)和第三板体(23)，所述第一板体(21)的上端安装有射频电极(4)，所述第一板体(21)的一侧设有第二板体(22)，所述第二板体(22)上贯穿连接有透明管路(5)，所述透明管路(5)的另一端连接有第三板体(23)，所述透明管路(5)和第二板体(22)之间安装有检测机构(7)；
所述检测机构(7)包括外管体(71)、内管体(72)、相机(73)和光圈(74)，所述外管体(71)的中部套接有内管体(72)，所述内管体(72)的中部固定安装有相机(73)，所述外管体(71)的外部固定连接有光圈(74)。
2.根据权利要求1所述的基于PECVD管理的高温自动清洁装置，其特征在于：所述外壳(2)的下端安装有抽气机(8)。
3.根据权利要求1所述的基于PECVD管理的高温自动清洁装置，其特征在于：所述光圈(74)的一端安装有光源(741)，光圈(74)的表面开设有外螺纹，光圈(74)通过外螺纹固定连接有透明管路(5)。
4.根据权利要求1所述的基于PECVD管理的高温自动清洁装置，其特征在于：所述外管体(71)、内管体(72)的一端连接有第二板体(22)，另一端连接有透明管路(5)，透明管路(5)通过外管体(71)和内管体(72)之间的间隙与外壳(2)的内部空腔相通。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
