[实用新型]一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架有效
| 申请号： | 202120204344.X | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN214600919U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 吕伟;陈磊;钱如平 | 申请（专利权）人： | 江苏新顺微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 孙燕波 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架，属于半导体清洗技术领域。包括片架本体，所述片架本体设于自动清洗机的标准片架内，所述片架本体与标准片架内腔相匹配，所述片架本体表面开设用于放置非标硅片的置物单元，且所述置物单元上下贯通。所述置物单元分别包括若干均匀间隔设置的卡槽，且相邻所述卡槽之间的间距与标准片架上的置物槽相匹配，所述卡槽的大小与非标硅片相匹配。所述置物单元设有多个，多个所述置物单元并列布置。所述片架本体为特氟龙材质制成件。本申请放于现有自动清洗机的标准片架内，标准片架对片架本体起到支撑作用，使得片架本体卡槽中的非标准尺寸的硅片在自动清洗机内自动清洗，省时省力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 非标准 尺寸 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
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