[实用新型]一种卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构有效
| 申请号： | 202120177637.3 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN214458301U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 曾德春;黄昭雄;周志刚;耿飒;宋新国 | 申请（专利权）人： | 宣城开盛新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;C23C14/32 |
| 代理公司： | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人： | 王燕 |
| 地址： | 242000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构，包括靶材背管、背管端盖以及外端盖；所述背管端盖和外端盖都设置于靶材背管的同一端；且所述外端盖位于背管端盖的外部；所述外端盖上设置有平面沉孔；所述平面沉孔内安装有用于连接外端盖和背管端盖的螺丝；所述螺丝的内端伸入背管端盖内；所述平面沉孔内套设有陶瓷伞垫；所述螺丝嵌设在陶瓷伞垫内；所述陶瓷伞垫与外端盖的连接受力面为平面。本实用新型的卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构，通过修改陶瓷伞垫的结构，改变螺丝与陶瓷伞垫、陶瓷伞垫与外端盖的受力面，消除角度偏差，减少安装时未调整好导致的耗损，消除陶瓷伞垫角度加工存在的偏差，可有效减少成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 设备 靶材端盖 陶瓷 安装 结构 | ||
【主权项】：
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