[实用新型]一种卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构

说明书

本实用新型公开了一种卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构，包括靶材背管、背管端盖以及外端盖；所述背管端盖和外端盖都设置于靶材背管的同一端；且所述外端盖位于背管端盖的外部；所述外端盖上设置有平面沉孔；所述平面沉孔内安装有用于连接外端盖和背管端盖的螺丝；所述螺丝的内端伸入背管端盖内；所述平面沉孔内套设有陶瓷伞垫；所述螺丝嵌设在陶瓷伞垫内；所述陶瓷伞垫与外端盖的连接受力面为平面。本实用新型的卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构，通过修改陶瓷伞垫的结构，改变螺丝与陶瓷伞垫、陶瓷伞垫与外端盖的受力面，消除角度偏差，减少安装时未调整好导致的耗损，消除陶瓷伞垫角度加工存在的偏差，可有效减少成本。

技术领域

本实用新型涉及卷式镀膜设备技术领域，尤其涉及一种卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构。

背景技术

镀膜设备的靶材背管处一般都安装有陶瓷伞垫，其具有以下作用：满足腔室内的高温环境条件；满足端盖与靶材、端盖与门外壳绝缘开路条件；通过与外端盖沉孔和平头螺丝边缘的角度配合，满足减小端盖与靶材同心度偏差的条件。现有的陶瓷伞垫安装完毕后，参见图1，通过平头螺丝与陶瓷伞垫的配合，再通过陶瓷伞垫与外端盖的配合，形成两个相互平行的受力面，但由于受力面与水平面成49°角，加工存在一定难度，安装存在一定耗损；进口陶瓷伞垫偏差小，但安装时如果未调整平整，很容易因受力面悬空而损毁。而且进口伞垫成本高，物流周期长，很容易影响PM进度；国产陶瓷伞垫角度偏差较大，安装时陶瓷伞垫很容易因受力不均匀而耗损，增加了生产成本。基于此，如何设计一种卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构是本实用新型所要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术的不足，提供一种卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构。

本实用新型通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：

一种卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构，包括靶材背管、背管端盖以及外端盖；所述背管端盖和外端盖都设置于靶材背管的同一端；且所述外端盖位于背管端盖的外部；

所述外端盖上设置有平面沉孔；所述平面沉孔内安装有用于连接外端盖和背管端盖的螺丝；所述螺丝为T型；所述螺丝的内端伸入背管端盖内；所述平面沉孔内套设有陶瓷伞垫；所述螺丝嵌设在陶瓷伞垫内；所述陶瓷伞垫与外端盖的连接受力面为平面。

作为上述技术方案的改进，所述的一种卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构，所述陶瓷伞垫的外侧面设置有平面台阶。

作为上述技术方案的改进，所述的一种卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构，所述陶瓷伞垫和外端盖之间设置有陶瓷平垫。

本实用新型的优点在于：本实用新型的卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构，通过修改陶瓷伞垫的结构，改变螺丝与陶瓷伞垫、陶瓷伞垫与外端盖的受力面，消除角度偏差，减少安装时未调整好导致的耗损，消除陶瓷伞垫角度加工存在的偏差，可有效减少成本。

附图说明

图1为现有陶瓷伞垫安装示意图。

图2为现有陶瓷伞垫受力面角度示意图。

图3为本实用新型结构示意图。

图4为本实用新型A处结构放大图。

图5为本实用新型陶瓷伞垫受力面角度示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。