[实用新型]一种卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构有效
| 申请号： | 202120177637.3 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN214458301U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 曾德春;黄昭雄;周志刚;耿飒;宋新国 | 申请（专利权）人： | 宣城开盛新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;C23C14/32 |
| 代理公司： | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人： | 王燕 |
| 地址： | 242000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 设备 靶材端盖 陶瓷 安装 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构，包括靶材背管(1)、背管端盖(2)以及外端盖(3)；所述背管端盖(2)和外端盖(3)都设置于靶材背管(1)的同一端；且所述外端盖(3)位于背管端盖(2)的外部；其特征在于：
所述外端盖(3)上设置有平面沉孔；所述平面沉孔内安装有用于连接外端盖(3)和背管端盖(2)的螺丝(4)；所述螺丝(4)为T型；所述螺丝(4)的内端伸入背管端盖(2)内；所述平面沉孔内套设有陶瓷伞垫(5)；所述螺丝(4)嵌设在陶瓷伞垫(5)内；所述陶瓷伞垫(5)与外端盖(3)的连接受力面为平面。
2.根据权利要求1所述的一种卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构，其特征在于：所述陶瓷伞垫(5)的外侧面设置有平面台阶。
3.根据权利要求1所述的一种卷式镀膜设备靶材端盖的陶瓷伞垫安装结构，其特征在于：所述陶瓷伞垫(5)和外端盖(3)之间设置有陶瓷平垫(6)。
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