[实用新型]一种下沉式FFU系统安装结构有效
| 申请号： | 202120175373.8 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN214577929U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 邓信甫;徐铭;陈佳炜;李志锋;刘大威 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/60 | 分类号： | F04D29/60;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 刘富艳 |
| 地址： | 200000 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种下沉式FFU系统安装结构，其技术方案要点是包括包括气氛导流部，所述气氛导流部位于外壳顶面上，外壳顶面上设置有两组第一定位部和四组第二定位部，四组所述第二定位部位于两组所述第一定位部之间，所述气氛导流部位于四组所述第二定位部之间，四组所述第二定位部和所述气氛导流部之间形成有第一容纳空间，所述第一容纳空间与FFU壳体相适配。通过在外壳上设置两组第一定位部和四组第二定位部，四组第二定位部和气氛导流部之间形成有第一容纳空间，第一容纳空间与FFU壳体相适配，通过第一定位部和第二定位部使得FFU壳体与第一容纳空间便于相互分离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 下沉 ffu 系统 安装 结构 | ||
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