[实用新型]一种下沉式FFU系统安装结构有效
申请号: | 202120175373.8 | 申请日: | 2021-01-21 |
公开(公告)号: | CN214577929U | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 邓信甫;徐铭;陈佳炜;李志锋;刘大威 | 申请(专利权)人: | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司 |
主分类号: | F04D29/60 | 分类号: | F04D29/60;H01L21/67 |
代理公司: | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人: | 刘富艳 |
地址: | 200000 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 下沉 ffu 系统 安装 结构 | ||
本实用新型公开了一种下沉式FFU系统安装结构,其技术方案要点是包括包括气氛导流部,所述气氛导流部位于外壳顶面上,外壳顶面上设置有两组第一定位部和四组第二定位部,四组所述第二定位部位于两组所述第一定位部之间,所述气氛导流部位于四组所述第二定位部之间,四组所述第二定位部和所述气氛导流部之间形成有第一容纳空间,所述第一容纳空间与FFU壳体相适配。通过在外壳上设置两组第一定位部和四组第二定位部,四组第二定位部和气氛导流部之间形成有第一容纳空间,第一容纳空间与FFU壳体相适配,通过第一定位部和第二定位部使得FFU壳体与第一容纳空间便于相互分离。
技术领域
本实用新型涉及FFU系统安装技术领域,更具体的说是涉及一种下沉式FFU系统安装结构。
背景技术
半导体设备包括外壳,在外壳内通常需要进行湿法化学反应,湿法化学反应产生的气体导致外壳内部的工艺区域的气体环境变得不纯净,为了让外壳内部维持纯净稳定的气体环境,通常需要在外壳上安装FFU系统,利用FFU系统使外壳内建立良好的循环气场流,FFU系统包括FFU壳体。
外壳需要提供一个安装空间以供FFU壳体安装,安装时,将FFU壳体放置在安装空间上,然后在外壳和FFU壳体上打孔,通过螺栓将外壳和FFU壳体相互固定,这种方式不便于FFU壳体与安装空间相互分离。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种下沉式FFU系统安装结构,用于使得FFU壳体与安装空间便于相互分离。
为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:一种下沉式FFU系统安装结构,包括气氛导流部,所述气氛导流部位于外壳顶面上,外壳顶面上设置有两组第一定位部和四组第二定位部,四组所述第二定位部位于两组所述第一定位部之间,所述气氛导流部位于四组所述第二定位部之间,四组所述第二定位部和所述气氛导流部之间形成有第一容纳空间,所述第一容纳空间与FFU壳体相适配,所述第一容纳空间用以容纳FFU壳体。
作为本实用新型的进一步改进,两组所述第一定位部正对设置,所述第一定位部包括第一定位板和两个第二定位板,所述第一定位板和所述第二定位板均与外壳顶面固定连接,两个所述第二定位板通过所述第一定位板一体形成,同一组第一定位部内的两个所述第二定位板相互平行,且所述第一定位板与两个所述第二定位板均相互垂直。
作为本实用新型的进一步改进,所述第一定位板的宽度和高度分别与所述第二定位板的宽度和高度相同,所述第二定位板的长度小于所述第一定位板长度的八分之一,且大于所述第一定位板长度的十分之一。
作为本实用新型的进一步改进,所述第二定位部包括两个第三定位板,所述第三定位板均与外壳顶面固定连接,两个所述第三定位板一体形成,两个所述第三定位板相互垂直,其中一个所述第三定位板与所述第一定位板相互平行,另一个所述第三定位板与所述第二定位板相互平行,四组所述第二定位部之间的空间可以容纳FFU壳体。
作为本实用新型的进一步改进,所述第三定位板的高度与所述第一定位板的高度相同,所述第三定位板的长度小于所述第二定位板长度的二分之一,且大于所述第二定位板长度的四分之一,所述第三定位板的宽度小于所述第二定位板宽度的五分之一,且大于所述第二定位板宽度的十五分之一。
本实用新型的有益效果:本实用新型通过在外壳上设置两组第一定位部和四组第二定位部,四组第二定位部和气氛导流部之间形成有第一容纳空间,第一容纳空间与FFU壳体相适配,通过第一定位部和第二定位部使得FFU壳体与第一容纳空间便于相互分离。
附图说明
图1是本实用新型的俯视结构示意图;
图2是本实用新型图1中A处的放大结构示意图。
附图标记:1、气氛导流部;2、第一定位部;21、第一定位板;22、第二定位板;3、第二定位部;31、第三定位板;4、第一容纳空间。
具体实施方式
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