[实用新型]一种下沉式FFU系统安装结构有效
申请号: | 202120175373.8 | 申请日: | 2021-01-21 |
公开(公告)号: | CN214577929U | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 邓信甫;徐铭;陈佳炜;李志锋;刘大威 | 申请(专利权)人: | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司 |
主分类号: | F04D29/60 | 分类号: | F04D29/60;H01L21/67 |
代理公司: | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人: | 刘富艳 |
地址: | 200000 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 下沉 ffu 系统 安装 结构 | ||
1.一种下沉式FFU系统安装结构,包括气氛导流部(1),所述气氛导流部(1)位于外壳顶面上,其特征在于:外壳顶面上设置有两组第一定位部(2)和四组第二定位部(3),四组所述第二定位部(3)位于两组所述第一定位部(2)之间,所述气氛导流部(1)位于四组所述第二定位部(3)之间,四组所述第二定位部(3)和所述气氛导流部(1)之间形成有第一容纳空间(4),所述第一容纳空间(4)与FFU壳体相适配。
2.根据权利要求1所述的一种下沉式FFU系统安装结构,其特征在于:两组所述第一定位部(2)正对设置,所述第一定位部(2)包括第一定位板(21)和两个第二定位板(22),所述第一定位板(21)和所述第二定位板(22)均与外壳顶面固定连接,两个所述第二定位板(22)通过所述第一定位板(21)一体形成,同一组第一定位部(2)内的两个所述第二定位板(22)相互平行,且所述第一定位板(21)与两个所述第二定位板(22)均相互垂直。
3.根据权利要求2所述的一种下沉式FFU系统安装结构,其特征在于:所述第一定位板(21)的宽度和高度分别与所述第二定位板(22)的宽度和高度相同,所述第二定位板(22)的长度小于所述第一定位板(21)长度的八分之一,且大于所述第一定位板(21)长度的十分之一。
4.根据权利要求3所述的一种下沉式FFU系统安装结构,其特征在于:所述第二定位部(3)包括两个第三定位板(31),所述第三定位板(31)均与外壳顶面固定连接,两个所述第三定位板(31)一体形成,两个所述第三定位板(31)相互垂直,其中一个所述第三定位板(31)与所述第一定位板(21)相互平行,另一个所述第三定位板(31)与所述第二定位板(22)相互平行。
5.根据权利要求4所述的一种下沉式FFU系统安装结构,其特征在于:所述第三定位板(31)的高度与所述第一定位板(21)的高度相同,所述第三定位板(31)的长度小于所述第二定位板(22)长度的二分之一,且大于所述第二定位板(22)长度的四分之一,所述第三定位板(31)的宽度小于所述第二定位板(22)宽度的五分之一,且大于所述第二定位板(22)宽度的十五分之一。
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