[实用新型]一种改善金属蒸发角度的承片机构

摘要

本实用新型公开一种改善金属蒸发角度的承片机构，包括行星锅，所述行星锅固定在蒸发腔内，且行星锅开口朝向蒸发源设置；若干个承片盘，若干个所述承片盘均匀布置在所述行星锅内，且承片盘与所述行星锅内壁之间设有支撑机构，所述支撑机构用于支撑并朝蒸发源方向抬起所述承片盘。本实用新型通过支撑机构将承片盘朝蒸发源方向抬起，从而能够有效改善蒸发角度，避免入射角度导致的金属脱落或金属膜分布不均匀现象；结构简单，成本低，能够快速由现有设备改造而来，普及性强；承片盘分别分布在内侧的内盘和环绕布置在外围的外盘，能够有效避免支撑后的干涉问题。