[实用新型]一种改善金属蒸发角度的承片机构

权利要求书

1.一种改善金属蒸发角度的承片机构，其特征在于，包括：

行星锅，所述行星锅固定在蒸发腔内，且行星锅开口朝向蒸发源设置；

若干个承片盘，若干个所述承片盘均匀布置在所述行星锅内，且承片盘与所述行星锅内壁之间设有支撑机构，所述支撑机构用于支撑并朝蒸发源方向抬起所述承片盘。

2.根据权利要求1所述的改善金属蒸发角度的承片机构，其特征在于，若干个所述承片盘分为内盘和外盘，所述内盘均匀布置在所述行星锅内中部，所述外盘均匀设置在所述行星锅内外围配合形成环绕所述内盘的环形结构，所述支撑机构包括用于支撑所述外盘的外支撑单元和用于支撑所述内盘的内支撑单元。

3.根据权利要求2所述的改善金属蒸发角度的承片机构，其特征在于，所述外支撑单元包括V型连接件，所述V型连接件设置在所述外盘远离所述行星锅中心一侧，且V型连接件一边端部与所述承片盘固定，另一边外侧面与所述行星锅内壁贴合固定。

4.根据权利要求3所述的改善金属蒸发角度的承片机构，其特征在于，所述外支撑单元还包括外支撑杆，所述外支撑杆设置在所述外盘朝所述行星锅一侧，且外支撑杆顶端与所述承片盘固定，底端与所述行星锅内壁相抵支撑。

5.根据权利要求2所述的改善金属蒸发角度的承片机构，其特征在于，所述内支撑单元包括：

L型连接件，所述L型连接件顶端与所述内盘一侧外缘固定，底边的底面与所述行星锅内壁贴合固定；

内支撑杆，所述内支撑杆顶端与所述内盘另一侧外缘固定，底端与所述行星锅内壁相抵支撑。