[实用新型]一种射频离子源安装底座有效
| 申请号： | 202120149243.7 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN214306280U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 周柯;肖映都 | 申请（专利权）人： | 东莞高田光学科技有限公司 |
| 主分类号： | F16M11/28 | 分类号： | F16M11/28;F16M11/10 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 张勋 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市清溪*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种射频离子源安装底座，包括结构主体，所述结构主体包括安装底座、固定块、上下调节块、源头固定块、角度调节块以及角度固定块，固定块竖直安装在安装底座上，上下调节块与固定块滑动连接，上下调节块的顶端固定设有旋转轴以及旋转轴固定块，旋转轴的一端与源头固定块连接，旋转轴的另外一端与角度固定块连接，角度调节块固定设于上下调节块的表面上，能够通过上下调节块对射频离子源的高度进行调整，射频离子源安装在源头固定块上，滑动上下调节块从而实现射频离子源的高度调节，能够通过旋转轴对射频离子源的角度进行调整，通过第三螺杆微调角度固定块以及源头固定块的角度，设计可靠的固定结构以确保长期量产的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 离子源 安装 底座 | ||
【主权项】：
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