[实用新型]一种射频离子源安装底座有效
| 申请号： | 202120149243.7 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN214306280U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 周柯;肖映都 | 申请（专利权）人： | 东莞高田光学科技有限公司 |
| 主分类号： | F16M11/28 | 分类号： | F16M11/28;F16M11/10 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 张勋 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市清溪*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 射频 离子源 安装 底座 | ||
【权利要求书】：
1.一种射频离子源安装底座，其特征在于：包括结构主体，所述结构主体包括安装底座、固定块、上下调节块、源头固定块、角度调节块以及角度固定块；
所述固定块竖直安装在安装底座上，所述上下调节块与固定块滑动连接，所述上下调节块的顶端固定设有旋转轴以及旋转轴固定块，所述旋转轴的一端与源头固定块连接，旋转轴的另外一端与角度固定块连接，所述角度调节块固定设于上下调节块的表面上。
2.根据权利要求1所述的一种射频离子源安装底座，其特征在于：所述固定块设有用于与上下调节块配合滑动的升降槽，并且固定块设有长圆形的高度调节槽，所述高度调节槽设于远离升降槽的一侧，并且高度调节槽与升降槽相通，所述上下调节块设有用于固定位置的锁紧孔。
3.根据权利要求1所述的一种射频离子源安装底座，其特征在于：所述角度固定块的底部设有角度限位槽。
4.根据权利要求1所述的一种射频离子源安装底座，其特征在于：所述角度调节块通过锁紧螺丝固定在上下调节块的表面上。
5.根据权利要求1所述的一种射频离子源安装底座，其特征在于：所述角度固定块的侧边设有一螺纹孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞高田光学科技有限公司，未经东莞高田光学科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120149243.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种低噪蜗轮减速机
- 下一篇：一种增温增湿机用排潮装置
