[实用新型]一种射频离子源安装底座

说明书

本实用新型公开了一种射频离子源安装底座，包括结构主体，所述结构主体包括安装底座、固定块、上下调节块、源头固定块、角度调节块以及角度固定块，固定块竖直安装在安装底座上，上下调节块与固定块滑动连接，上下调节块的顶端固定设有旋转轴以及旋转轴固定块，旋转轴的一端与源头固定块连接，旋转轴的另外一端与角度固定块连接，角度调节块固定设于上下调节块的表面上，能够通过上下调节块对射频离子源的高度进行调整，射频离子源安装在源头固定块上，滑动上下调节块从而实现射频离子源的高度调节，能够通过旋转轴对射频离子源的角度进行调整，通过第三螺杆微调角度固定块以及源头固定块的角度，设计可靠的固定结构以确保长期量产的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及光学镀膜技术领域，具体为一种射频离子源安装底座。

背景技术

光学镀膜是指在光学零件表面镀上一层金属或薄膜的工艺过程，在光学零件表面镀膜目的是为了达到、减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求；

目前一般使用电子束蒸发低温沉积的薄膜，该方法不仅折射率差，并且薄膜对于高温高湿的测试环境也无法通过，因此在光学镀膜时会引入射频离子源辅助沉积技术从而改善薄膜特性，但在实际的生产过程中需要调节射频离子源的照射角度从而确保产品不同位置性能的一致性，因此亟需一种射频离子源安装底座用于调整射频离子源的角度。

发明内容

为了克服现有技术方案的不足，本实用新型提供一种射频离子源安装底座，能有效的解决背景技术提出的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种射频离子源安装底座，包括结构主体，所述结构主体包括安装底座、固定块、上下调节块、源头固定块、角度调节块以及角度固定块；

所述固定块竖直安装在安装底座上，所述上下调节块与固定块滑动连接，所述上下调节块的顶端固定设有旋转轴以及旋转轴固定块，所述旋转轴的一端与源头固定块连接，旋转轴的另外一端与角度固定块连接，所述角度调节块固定设于上下调节块的表面上。

优选地：所述固定块设有用于与上下调节块配合滑动的升降槽，并且固定块设有长圆形的高度调节槽，所述高度调节槽设于远离升降槽的一侧，并且高度调节槽与升降槽相通，所述上下调节块设有用于固定位置的锁紧孔。

优选地：所述角度固定块的底部设有角度限位槽。

优选地：所述角度调节块通过锁紧螺丝固定在上下调节块的表面上。

优选地：所述角度固定块的侧边设有一螺纹孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

能够通过上下调节块对射频离子源的高度进行调整，射频离子源安装在源头固定块上，滑动上下调节块从而实现射频离子源的高度调节；

能够通过旋转轴对射频离子源的角度进行调整，第三螺杆贯穿螺纹孔并与角度固定块的侧边相接触，通过第三螺杆微调角度固定块以及源头固定块的角度；

设计可靠的固定结构以确保长期量产的稳定性，滑动上下调节块到特定位置后，利用第一螺杆贯穿高度调节槽以及锁紧孔，然后拧紧第一螺母实现上下调节块的位置限定，调整好射频离子源角度后拧紧第二螺母以及第三螺母从而固定角度固定块的位置。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的另一种结构示意图。

图中标号：

源头固定块1、旋转轴2、旋转轴固定块3、角度调节块4、角度固定块5、上下调节块6、安装底座7、固定块8、升降槽9、锁紧孔10、高度调节槽11、角度限位槽12、螺纹孔13。

具体实施方式