[实用新型]一种高效真空镀膜系统有效
| 申请号： | 202120121729.X | 申请日： | 2021-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN214193435U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 张楠林;王静波 | 申请（专利权）人： | 阳明量子科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙) 50221 | 代理人： | 郭泽培 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝安区福*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种高效真空镀膜系统，包括有工作台、真空机构、镀膜机构和控制机构，镀膜机构包括有设于工作台上侧的镀膜腔，镀膜腔上端设有凸环，凸环开有环槽，凸环铰接有腔盖，腔盖圆心处设有螺纹杆，螺纹杆远离镀膜腔一端设有第一把手，螺纹杆另一端转动装配有与环槽相匹配的密封板，凸环相对铰接点一侧设有回弹组件，凸环相对于铰接点一侧设有C形块，腔盖设有与C形块相匹配的J形弹性卡块，本设备能够进行高效的真空镀膜加工，起到良好密封效果的同时便于工件、材料的添加。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 真空镀膜 系统 | ||
【主权项】：
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