[实用新型]一种高效真空镀膜系统

权利要求书

1.一种高效真空镀膜系统，包括有工作台(1)、真空机构、镀膜机构和控制机构(11)，所述控制机构(11)与外界电源电性连接，其特征在于：所述镀膜机构包括有设于工作台(1)上侧的镀膜腔(2)，所述镀膜腔(2)下侧与真空机构连接，所述镀膜腔(2)内设有膜厚监测传感器(21)、蒸发舟(22)和若干与蒸发舟(22)连接的加热接线柱(23)，所述镀膜腔(2)内设有位于蒸发舟(22)上侧的样品台(24)，所述镀膜腔(2)上端设有凸环(3)，所述凸环(3)开有环槽(31)，所述环槽(31)设有第一密封圈(32)，所述凸环(3)铰接有腔盖(33)，所述腔盖(33)圆心处设有螺纹杆(34)，所述螺纹杆(34)远离镀膜腔(2)一端设有第一把手(35)，所述螺纹杆(34)另一端转动装配有与环槽(31)相匹配的密封板(36)，所述密封板(36)靠近腔盖(33)一端设有与腔盖(33)滑动装配的稳定杆(361)，所述密封板(36)下端设有与第一密封圈(32)相匹配的卡槽(362)，所述凸环(3)相对铰接点一侧设有回弹组件，所述回弹组件包括有台阶孔(4)，所述台阶孔(4)底壁固定连接有回位弹簧(41)，所述回位弹簧(41)另一端连接有伸出台阶孔(4)的剖面为T形的推块(42)，所述凸环(3)相对于铰接点一侧设有C形块(43)，所述C形块(43)的开口内设有由上至下向镀膜腔(2)一侧倾斜的斜面(431)，所述腔盖(33)设有与C形块(43)相匹配的J形弹性卡块(44)，所述真空机构和镀膜机构均与控制机构(11)电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种高效真空镀膜系统，其特征在于：所述真空机构包括有冷肼接口(5)、扩散泵(51)和机械泵(52),所述扩散泵(51)与镀膜腔(2)连接，所述机械泵(52)与扩散泵(51)共同连接有与镀膜腔(2)连接的管道。

3.根据权利要求1所述的一种高效真空镀膜系统，其特征在于：所述凸环(3)与腔盖(33)的铰接处设有限位块(37)。

4.根据权利要求1所述的一种高效真空镀膜系统，其特征在于：所述腔盖(33)侧面设有第二把手(38)。

5.根据权利要求1所述的一种高效真空镀膜系统，其特征在于：所述密封板(36)侧面设有与环槽(31)相匹配的第二密封圈。

6.根据权利要求1所述的一种高效真空镀膜系统，其特征在于：所述工作台(1)均匀设有若干万向轮(12)，若干所述万向轮(12)均设有刹车机构。