[实用新型]一种靶材环件校正装置有效
| 申请号： | 202120118052.4 | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN214442035U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯周瑜;罗明浩;张林桥 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B21D3/16 | 分类号： | B21D3/16;B21D43/00;B21D53/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种靶材环件校正装置，所述校正装置包括校正基座、校正夹具和施压组件，所述校正夹具竖直放置于校正基座上；待校正靶材环件由第一固定组件固定于校正夹具的一侧表面，所述靶材环件和校正夹具的中心轴重合，所述靶材环件外壁上设有凸起；所述施压组件位于靶材环件外侧，与靶材环件上的凸起接触，所述施压组件的一端与校正夹具连接。本实用新型通过校正装置的结构设计，尤其是固定组件的设置，能够对变形靶材环件中的不同位置进行快速校正，避免再利用时造成安装困难和使用异常的问题，便于靶材环件的再利用，校正效果好；所述装置结构简单，组装方便，适合于不同种类的靶材环件的校正，能够有效降低半导体产品制备的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 靶材环件 校正 装置 | ||
【主权项】：
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