[实用新型]一种靶材环件校正装置有效

专利信息
申请号: 202120118052.4 申请日: 2021-01-15
公开(公告)号: CN214442035U 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯周瑜;罗明浩;张林桥 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: B21D3/16 分类号: B21D3/16;B21D43/00;B21D53/16;C23C14/34
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 王岩
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 靶材环件 校正 装置
【权利要求书】:

1.一种靶材环件校正装置,其特征在于,所述校正装置包括校正基座、校正夹具和施压组件,所述校正夹具竖直放置于校正基座上;待校正靶材环件由第一固定组件固定于校正夹具的一侧表面,所述靶材环件和校正夹具的中心轴重合,所述靶材环件外壁上设有凸起;所述施压组件位于靶材环件外侧,与靶材环件上的凸起接触,所述施压组件的一端与校正夹具连接。

2.根据权利要求1所述的靶材环件校正装置,其特征在于,所述校正夹具的纵向截面呈圆缺形,所述圆缺形的圆心角为270~320度。

3.根据权利要求2所述的靶材环件校正装置,其特征在于,所述校正夹具的圆缺形截面部分设置凸台,与校正基座上设置的凹陷部分相匹配,将校正夹具和校正基座的相对位置固定。

4.根据权利要求1所述的靶材环件校正装置,其特征在于,所述第一固定组件由一个平板面和两个纵向分支构成;所述第一固定组件的两个纵向分支分别位于靶材环件的内侧和外侧,所述纵向分支的一端与校正夹具连接,另一端与平板面固定连接,所述纵向分支垂直于校正夹具和平板面。

5.根据权利要求1所述的靶材环件校正装置,其特征在于,所述第一固定组件的数量至少为4个,所述靶材环件的端口两侧分别设有1个第一固定组件。

6.根据权利要求1所述的靶材环件校正装置,其特征在于,所述靶材环件的凸起呈环形空心状,所述凸起的数量至少为4个,所述靶材环件的端口两侧分别设有1个凸起。

7.根据权利要求6所述的靶材环件校正装置,其特征在于,所述施压组件与校正夹具的连接端由校正夹具上设置的圆柱形支柱和施压组件上设置的孔洞组成,所述圆柱形支柱位于靶材环件的外侧,所述施压组件套设于圆柱形支柱上,以圆柱形支柱为轴转动。

8.根据权利要求7所述的靶材环件校正装置,其特征在于,所述靶材环件的凸起上还安装有缓冲组件,所述施压组件对靶材环件校正施压时与缓冲组件直接接触。

9.根据权利要求1所述的靶材环件校正装置,其特征在于,所述校正装置还包括第二固定组件,所述第二固定组件包括设置于校正夹具上的两个圆柱形凸起,两个圆柱形凸起位于靶材环件同一直径方向上,分别位于靶材环件的内侧和外侧,并与靶材环件的内壁和外壁接触。

10.根据权利要求1所述的靶材环件校正装置,其特征在于,所述校正装置还包括校正模板,所述校正模板上设有圆槽,所述圆槽的尺寸与未变形的靶材环件的尺寸相同。

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