[实用新型]一种化学机械抛光用保持环有效
| 申请号： | 202120070274.3 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN215847582U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种化学机械抛光用保持环，所述化学机械抛光用保持环包括第一环体和第二环体；所述第一环体和第二环体通过粘结剂粘结；所述第一环体上设有凹槽，所述凹槽上设有第一侧面粘结面和第一阶梯水平粘结面；所述第二环体上设有环形凸台，所述环形凸台的底部外径小于顶部外径；所述环形凸台上设有第二侧面粘结面和第二阶梯水平粘结面；所述第二阶梯水平粘结面上设有燕尾槽；所述凹槽的直径与所述环形凸台的顶部外径相同；所述环形凸台插入到所述凹槽内。本实用新型通过改进两种环体之间的粘结结构，增强了两者之间的粘结强度，提升了保持环的品质；所述粘结结构的设计无需复杂操作，结构简单，工作量小，有利于工业化应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 保持 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120070274.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种间歇脉冲加压抗栓分流装置
- 下一篇：一种口腔种植术后的冷敷装置
