[发明专利]一种显影液组合物在审
| 申请号： | 202111678801.X | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114265289A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 马晓明;王健;杨晓松 | 申请（专利权）人： | 苏州润邦半导体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 苏州启华专利代理事务所(普通合伙) 32357 | 代理人： | 徐伟华 |
| 地址： | 215634 江苏省苏州市张家港保税*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影液组合物，所述显影液组合物包括有机胺、表面活性剂及有机溶剂，所述有机胺选自具有式Ⅰ、式Ⅱ或式Ⅲ结构的一种或多种有机胺。本发明的显影液，通过加入特定的有机胺，在确保分辨率的同时还可改善直线边缘的粗糙度及缺陷，扩大光刻工艺的窗口。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 组合 | ||
【主权项】：
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