[发明专利]一种显影液组合物在审
| 申请号： | 202111678801.X | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114265289A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 马晓明;王健;杨晓松 | 申请（专利权）人： | 苏州润邦半导体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 苏州启华专利代理事务所(普通合伙) 32357 | 代理人： | 徐伟华 |
| 地址： | 215634 江苏省苏州市张家港保税*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种显影液组合物，其特征在于，所述显影液组合物包括有机胺、表面活性剂及有机溶剂，所述有机胺选自具有式Ⅰ、式Ⅱ或式Ⅲ结构的一种或多种有机胺，
其中，式Ⅱ中，R1选自-NH2、-CH2-NH2中的任意一种，R2选自-H、-OH、-CH3中的任意一种，n为大于等于1的整数。
2.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述表面活性剂采用了非离子表面活性剂。
3.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述显影液组合物为由如下各质量百分含量的组分组成：有机胺：0.01-1％、表面活性剂：0.01-1％，余量为有机溶剂。
4.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述式Ⅱ中的R1为-NH2，R2为-H。
5.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述式Ⅱ中的R1为-CH2-NH2，R2为-OH或-CH3。
6.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述式Ⅱ中的n为1到20的整数。
7.根据权利要求1所述的显影液组合物，其特征在于，所述有机溶剂采用了浓度在95％以上的乙酸丁酯。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州润邦半导体材料科技有限公司，未经苏州润邦半导体材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111678801.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种推扭式储库型粉雾剂装置
- 下一篇：一种用于运动疲劳快速恢复的营养组合物
