[发明专利]一种砷化镓晶圆水平法切割装置在审
| 申请号： | 202111657798.3 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114310509A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 袁永 | 申请（专利权）人： | 苏州诺富微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B5/04 | 分类号： | B24B5/04;B24B5/36;B24B5/50;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B55/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215021 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了砷化镓生产加工技术领域的一种砷化镓晶圆水平法切割装置，包括工作台与驱动电机，所述工作台表面开设有放置砷化镓晶柱的凹槽，所述凹槽的底部为弧形，所述凹槽的底部滑动连接有驱动推杆；本发明在工作前，通过砷化镓晶柱厚度的不同来间接调节打磨辊右端的位置，从而来调节打磨辊所能打磨的最大圆直径，有利于根据砷化镓晶柱厚度的不同来确定打磨的最大圆柱的晶柱，从而减少多余的打磨，避免浪费；连接球与其上的十字环形槽可以满足打磨辊与转动齿轮转动轴之间的角度调节，有利于在打磨辊的右端进行抬起时，转动齿轮依然能对打磨辊提供稳定的驱动力，避免卡死或驱动力不稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓晶圆 水平 切割 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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