[发明专利]一种砷化镓晶圆水平法切割装置

权利要求书

1.一种砷化镓晶圆水平法切割装置，包括工作台(1)与驱动电机(2)，其特征在于：所述工作台(1)表面开设有放置砷化镓晶柱的凹槽(3)，所述凹槽(3)的底部为弧形，所述凹槽(3)的底部滑动连接有驱动推杆(4)，所述驱动推杆(4)左端有部分凸起并且其左端位于砷化镓晶柱的左侧，所述凹槽(3)的上方设有压盖(5)，所述压盖(5)可以将砷化镓的上端盖住，所述压盖(5)的上端右侧固定连接有顶动块(6)，所述顶动块(6)的右侧为斜面，所述工作台(1)表面对应压盖(5)的两侧位置均固定连接有限位板(7)，所述工作台(1)的右侧底部固定连接有辅助台(8)，所述辅助台(8)上端上下滑动连接有支撑架(9)，所述支撑架(9)的上端固定连接有打磨筒(10)，所述打磨筒(10)的左端固定连接有内齿环(11)，所述内齿环(11)右侧转动连接有外齿环(12)，所述驱动电机(2)固定连接在内齿环(11)的左侧，所述驱动电机(2)转动轴贯穿内齿环(11)后固定连接有驱动齿轮(13)，所述驱动齿轮(13)与外齿环(12)啮合，所述外齿环(12)表面转动连接有三个等距排列的转动齿轮(14)，三个所述转动齿轮(14)均与内齿环(11)啮合并且三个所述转动齿轮(14)转动轴贯穿外齿环(12)，三个所述转动齿轮(14)转动轴右端均设有球铰链机构，三个所述转动齿轮(14)转动轴均通过球铰链机构连接有打磨辊(15)，所述打磨辊(15)斜向布置并且其底部为圆弧形，所述打磨辊(15)的尾端固定连接有轴承(16)，所述轴承(16)表面固定连接有可伸缩的弧形拉板(17)，所述弧形拉板(17)的顶部贯穿打磨筒(10)，所述打磨筒(10)对应弧形拉板(17)位置开设有通槽(18)，所述通槽(18)将打磨筒(10)分为两部分，所述打磨筒(10)的表面对应通槽(18)位置套接有推动环(19)，所述弧形拉板(17)的顶部滑动在推动环(19)的内壁上，所述弧形拉板(17)的中间位置固定连接有拉动绳(20)，所述拉动绳(20)的另一端与推动环(19)的内壁固定连接，所述打磨筒(10)上端对应顶动块(6)位置滑动连接有推动杆(21)，所述推动杆(21)左端为斜面并且其右端与推动环(19)接触，所述打磨筒(10)的内壁右侧设有限定机构，所述限定机构用来限定打磨后的砷化镓晶柱符合晶柱的最大圆。

2.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶圆水平法切割装置，其特征在于：所述球铰链机构包括连接球(22)，所述连接球(22)表面开设有十字环形槽(23)，所述转动齿轮(14)转动轴右端与所述打磨辊(15)左端均滑动在十字环形槽(23)内。

3.根据权利要求2所述的一种砷化镓晶圆水平法切割装置，其特征在于：所述限定机构包括阻挡环(24)，所述阻挡环(24)的中间位置有通口(25)，所述通口(25)左侧铰接有三个等角度排列的限定板(26)，所述限定板(26)的左端为弧形并且所述限定板(26)的底部中间位置固定连接有擦拭棉(27)，所述限定板(26)的中间位置铰接有调节杆(28)，所述调节杆(28)贯穿所述打磨筒(10)后端部向左侧弯折并延伸所述推动环(19)位置，所述调节杆(28)上端左侧为斜面。

4.根据权利要求3所述的一种砷化镓晶圆水平法切割装置，其特征在于：所述工作台(1)对应所述凹槽(3)底部前后两侧位置均开设有弧形引导槽(29)，两个所述弧形引导槽(29)内均滑动连接有可伸缩的弧形引导轨(30)，所述弧形引导轨(30)端部通过弧形弹簧弹性连接，两个所述弧形引导轨(30)的顶部均滑动在压盖(5)的左端，所述压盖(5)左端对应两个弧形引导轨(30)的顶端位置均开设有让位槽(31)，所述让位槽(31)贯穿压盖(5)，所述工作台(1)的右端结构与左端相同，四个所述弧形引导轨(30)内均滑动连接有滑动块(32)，左右两端所述滑动块(32)之间共同设有切割丝(33)，所述切割丝(33)贯穿滑动块(32)后与外部非金属线切割装置相连接。