[发明专利]一种电池托盘表面处理方法在审
| 申请号: | 202111642403.2 | 申请日: | 2021-12-30 |
| 公开(公告)号: | CN116426876A | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
| 发明(设计)人: | 马世猛;代智杰;周广福 | 申请(专利权)人: | 上海昶火微电子科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/35;C23C4/134;C23C4/11;C23C16/34;C23C16/505;H01L31/18 |
| 代理公司: | 苏州修合知识产权代理事务所(普通合伙) 32640 | 代理人: | 刘文骞 |
| 地址: | 201306 上海市浦东新区中国(上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种电池托盘表面处理方法,其特征在于,对电池托盘表面进行镀氧化物或氮化物膜层处理,包括采用熔融喷涂法制备氧化铝膜层,采用磁控溅射法制备二氧化硅膜层,采用等离子体增强化学气相沉积法制备氮化硅膜层,托盘表面镀上耐高温、耐磨损、耐腐蚀的氧化物或氮化物膜层,延长其使用寿命,且托盘表面镀的氧化物或氮化物膜层不利于ITO等电极膜层的沉积,使表面沉积膜层清洗容易,降低清洗成本,防止物理或化学清洗对托盘造成的损坏。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 电池 托盘 表面 处理 方法 | ||
【主权项】:
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