[发明专利]一种电池托盘表面处理方法在审
| 申请号： | 202111642403.2 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116426876A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 马世猛;代智杰;周广福 | 申请（专利权）人： | 上海昶火微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;C23C4/134;C23C4/11;C23C16/34;C23C16/505;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州修合知识产权代理事务所(普通合伙) 32640 | 代理人： | 刘文骞 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电池 托盘 表面 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种电池托盘表面处理方法，其特征在于，对电池托盘表面进行镀氧化物或氮化物膜层处理。
2.根据权利要求1所述的一种电池托盘表面处理方法，其特征在于：使工艺气体通过压缩电弧进行电离，形成等离子弧，通过等离子弧将氧化铝熔融后，将熔融的氧化铝对托盘进行喷涂。
3.根据权利要求2所述的一种电池托盘表面处理方法，其特征在于：所述工艺气体采用氮气、氩气、氢气或氦气。
4.根据权利要求1所述的一种电池托盘表面处理方法，其特征在于：接入射频电源，通入一定比例的硅烷与氨气，对托盘进行氮化硅PECVD法镀膜。
5.根据权利要求1所述的一种电池托盘表面处理方法，其特征在于：使用硅靶，接入中频电源，通入氩气与氧气的混合气体，对托盘进行二氧化硅膜层磁控溅射制备。
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